| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-23页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·氧气传感器分类 | 第8-16页 |
| ·浓差电池型氧传感器 | 第8-12页 |
| ·氧化物半导体型氧传感器 | 第12-14页 |
| ·极限电流型氧传感器 | 第14-16页 |
| ·氧气传感器应用领域 | 第16-19页 |
| ·氧气传感器与汽车空燃比控制系统 | 第16-18页 |
| ·氧气传感器与锅炉控制系统 | 第18-19页 |
| ·氧敏传感器研究现状和发展趋势 | 第19-20页 |
| ·SrTiO_3 氧气传感器 | 第20-23页 |
| 第二章 SrTiO_3氧气传感器的敏感机理及其性能指标 | 第23-35页 |
| ·半导体气敏元件工作机理 | 第23-26页 |
| ·原子价控制模型 | 第23-24页 |
| ·表面电荷层模型 | 第24页 |
| ·晶粒间界势垒模型 | 第24页 |
| ·吸附氧理论 | 第24-26页 |
| ·钙钛矿材料的结构特性 | 第26-27页 |
| ·钙钛矿材料的结构 | 第26-27页 |
| ·钙钛矿型氧化物的缺陷化学 | 第27页 |
| ·SrTiO_3 敏感机理分析 | 第27-32页 |
| ·纯净SrTiO_3 敏感机理 | 第27-30页 |
| ·掺杂SrTiO_3 敏感机理 | 第30-32页 |
| ·氧气传感器的特性参数 | 第32-35页 |
| ·电阻—温度特性 | 第32-33页 |
| ·灵敏度 | 第33-34页 |
| ·响应速率特性 | 第34-35页 |
| 第三章 SrTiO_3粉体的制备研究与实验方案 | 第35-41页 |
| ·高温固相合成法 | 第35-36页 |
| ·高温固相合成法反应原理 | 第35页 |
| ·高温固相合成法工艺流程 | 第35-36页 |
| ·溶胶—凝胶法 | 第36-37页 |
| ·溶胶—凝胶法反应原理 | 第36-37页 |
| ·溶胶—凝胶法工艺流程 | 第37页 |
| ·实验方案 | 第37-41页 |
| 第四章 SrTiO_3厚膜氧气传感器的制备和表征 | 第41-49页 |
| ·SrTiO_3 厚膜氧气传感器制作工艺 | 第41-43页 |
| ·SrTiO_3 材料的测试与表征 | 第43-49页 |
| ·XRD 的物相分析 | 第44-45页 |
| ·SEM 测试结果及分析 | 第45-49页 |
| 第五章 元件性能测试及数据分析 | 第49-57页 |
| ·测试系统介绍 | 第49-50页 |
| ·测试数据及分析 | 第50-57页 |
| ·固相合成方法制备元件性能分析 | 第50-55页 |
| ·溶胶—凝胶方法制备元件性能分析 | 第55-57页 |
| 第六章 结论 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 作者在读期间研究成果 | 第65-66页 |