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半导体氧敏元件工艺与特性研究

摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 绪论第7-23页
   ·引言第7-8页
   ·氧气传感器分类第8-16页
     ·浓差电池型氧传感器第8-12页
     ·氧化物半导体型氧传感器第12-14页
     ·极限电流型氧传感器第14-16页
   ·氧气传感器应用领域第16-19页
     ·氧气传感器与汽车空燃比控制系统第16-18页
     ·氧气传感器与锅炉控制系统第18-19页
   ·氧敏传感器研究现状和发展趋势第19-20页
   ·SrTiO_3 氧气传感器第20-23页
第二章 SrTiO_3氧气传感器的敏感机理及其性能指标第23-35页
   ·半导体气敏元件工作机理第23-26页
     ·原子价控制模型第23-24页
     ·表面电荷层模型第24页
     ·晶粒间界势垒模型第24页
     ·吸附氧理论第24-26页
   ·钙钛矿材料的结构特性第26-27页
     ·钙钛矿材料的结构第26-27页
     ·钙钛矿型氧化物的缺陷化学第27页
   ·SrTiO_3 敏感机理分析第27-32页
     ·纯净SrTiO_3 敏感机理第27-30页
     ·掺杂SrTiO_3 敏感机理第30-32页
   ·氧气传感器的特性参数第32-35页
     ·电阻—温度特性第32-33页
     ·灵敏度第33-34页
     ·响应速率特性第34-35页
第三章 SrTiO_3粉体的制备研究与实验方案第35-41页
   ·高温固相合成法第35-36页
     ·高温固相合成法反应原理第35页
     ·高温固相合成法工艺流程第35-36页
   ·溶胶—凝胶法第36-37页
     ·溶胶—凝胶法反应原理第36-37页
     ·溶胶—凝胶法工艺流程第37页
   ·实验方案第37-41页
第四章 SrTiO_3厚膜氧气传感器的制备和表征第41-49页
   ·SrTiO_3 厚膜氧气传感器制作工艺第41-43页
   ·SrTiO_3 材料的测试与表征第43-49页
     ·XRD 的物相分析第44-45页
     ·SEM 测试结果及分析第45-49页
第五章 元件性能测试及数据分析第49-57页
   ·测试系统介绍第49-50页
   ·测试数据及分析第50-57页
     ·固相合成方法制备元件性能分析第50-55页
     ·溶胶—凝胶方法制备元件性能分析第55-57页
第六章 结论第57-59页
致谢第59-61页
参考文献第61-65页
作者在读期间研究成果第65-66页

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