| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-15页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 发展现状 | 第13-14页 |
| 1.3 课题背景及研究的意义 | 第14-15页 |
| 第二章 半导体厂洁净室基本介绍 | 第15-19页 |
| 2.1 洁净室的定义 | 第15页 |
| 2.2 洁净室的等级划分 | 第15-16页 |
| 2.3 洁净室控管的项目 | 第16-17页 |
| 2.4 洁净室的分类 | 第17-18页 |
| 2.4.1 乱流式(Turbulent Flow) | 第17页 |
| 2.4.2 层流式(Laminar) | 第17-18页 |
| 2.4.3 复合式(Mixed Type) | 第18页 |
| 2.5 洁净室的构成 | 第18页 |
| 2.6 本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 温湿度基本理论介绍 | 第19-27页 |
| 3.1 温湿度相关背景知识 | 第19-24页 |
| 3.1.1 湿空气 | 第19-20页 |
| 3.1.2 湿空气状态参数 | 第20-21页 |
| 3.1.3 焓 | 第21-22页 |
| 3.1.4 焓湿图 | 第22-23页 |
| 3.1.5 湿空气的基本热力学过程 | 第23-24页 |
| 3.2 温湿度解耦 | 第24-25页 |
| 3.3 洁净室温湿度处理过程介绍 | 第25-26页 |
| 3.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第四章 洁净室空调系统介绍 | 第27-33页 |
| 4.1 洁净室温湿度处理基本介绍 | 第27页 |
| 4.2 洁净室温湿度处理基本流程 | 第27-29页 |
| 4.3 洁净室温湿度控制注意点 | 第29页 |
| 4.4 新风空调箱基本结构及各部件参数 | 第29-32页 |
| 4.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第五章 洁净室温湿度控制 | 第33-40页 |
| 5.1 新风空调箱温度处理过程 | 第33-34页 |
| 5.2 PID 控制算法 | 第34-35页 |
| 5.3 新风空调箱湿度处理过程 | 第35-36页 |
| 5.4 洁净室温湿度控制 | 第36-39页 |
| 5.4.1 洁净室温度控制 | 第36-37页 |
| 5.4.2 DCC 水温控制 | 第37-38页 |
| 5.4.3 新风空调箱温湿度设定值控制 | 第38-39页 |
| 5.4.4 洁净室相对湿度控制 | 第39页 |
| 5.5 本章小节 | 第39-40页 |
| 第六章 模糊控制的应用 | 第40-54页 |
| 6.1 模糊控制的引入 | 第40-42页 |
| 6.1.1 应用中发现的问题 | 第40-41页 |
| 6.1.2 对发现问题的分析 | 第41页 |
| 6.1.3 改进方案提出 | 第41-42页 |
| 6.2 模糊控制发展介绍 | 第42-43页 |
| 6.2.1 模糊控制理论概述 | 第42页 |
| 6.2.2 模糊控制理论的产生发展历史 | 第42-43页 |
| 6.3 模糊控制基本构成 | 第43-44页 |
| 6.4 模糊PID 控制器 | 第44-52页 |
| 6.4.1 模糊自整定 PID 调节器结构 | 第44页 |
| 6.4.2 数字PID 算法 | 第44-45页 |
| 6.4.3 模糊控制方案 | 第45-52页 |
| 6.5 模糊控制编程实现 | 第52-53页 |
| 6.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第七章 系统配置 | 第54-59页 |
| 7.1 系统建设的要求 | 第54页 |
| 7.2 控制系统总体介绍 | 第54-55页 |
| 7.3 下位机 | 第55-57页 |
| 7.4 PLC 软件和触摸屏软件 | 第57页 |
| 7.5 上位机 | 第57-58页 |
| 7.6 服务器 | 第58页 |
| 7.7 本章小结 | 第58-59页 |
| 第八章 项目运行效果 | 第59-61页 |
| 第九章 全文总结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第66-68页 |