| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 气敏传感器概述 | 第11-16页 |
| 1.1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.1.2 气敏传感器的发展与分类 | 第12-15页 |
| 1.1.3 气敏传感器的性能指标 | 第15-16页 |
| 1.2 金属氧化物气敏材料 | 第16-23页 |
| 1.2.1 金属氧化物气敏材料的制备方法和研究现状 | 第16-19页 |
| 1.2.2 二氧化锡的基本性质 | 第19-20页 |
| 1.2.3 金属氧化物气敏传感器的敏感机理 | 第20-23页 |
| 1.3 本文的研究方向及研究意义 | 第23-25页 |
| 1.3.1 本文的研究方向 | 第23-24页 |
| 1.3.2 本文的研究意义 | 第24-25页 |
| 第二章 气敏传感器的仿真与制备 | 第25-36页 |
| 2.1 基于MEMS的气敏传感器简介 | 第25-26页 |
| 2.2 微加热板的设计与仿真 | 第26-32页 |
| 2.2.1 微加热板的需求与设计 | 第26-27页 |
| 2.2.2 有限元分析介绍 | 第27-28页 |
| 2.2.3 微加热板的温度仿真 | 第28-32页 |
| 2.3 微加热板的制备与测试 | 第32-33页 |
| 2.4 气敏测试系统介绍 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 二氧化锡多孔薄膜气敏传感器 | 第36-50页 |
| 3.1 多孔二氧化锡薄膜气敏传感器的制备与表征 | 第36-42页 |
| 3.1.1 多孔二氧化锡薄膜气敏传感器的制备 | 第36-39页 |
| 3.1.2 多孔二氧化锡的表征 | 第39-42页 |
| 3.2 传感器对乙醇气体的特性测试 | 第42-48页 |
| 3.3 多孔薄膜结构的对气敏特性的影响机理 | 第48-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 多孔薄膜异质结气敏传感器 | 第50-60页 |
| 4.1 多孔薄膜异质结气敏传感器制备与表征 | 第50-53页 |
| 4.2 多孔薄膜异质结气敏传感器对乙醇气体的特性测试 | 第53-57页 |
| 4.3 异质结原理及影响 | 第57-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 总结和展望 | 第60-63页 |
| 5.1 总结研究 | 第60-61页 |
| 5.2 展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利目录 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |