| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-19页 |
| 1.1 原子力显微镜的介绍 | 第8-12页 |
| 1.1.1 AFM 的介绍 | 第9页 |
| 1.1.2 AFM 的组成和基本工作原理 | 第9-12页 |
| 1.1.3 针尖对于 AFM 性能的影响 | 第12页 |
| 1.2 CNT 探针的研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 碳纳米管探针介绍 | 第12-13页 |
| 1.2.2 碳纳米管探针的制备现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 CNT 探针参数控制 | 第14-17页 |
| 1.2.4 碳纳米管的应用研究现状 | 第17页 |
| 1.3 本课题的研究内容和思路 | 第17-19页 |
| 第二章 CNT 探针的组装工艺优化 | 第19-32页 |
| 2.1 CNT 的组装工艺优化 | 第20-23页 |
| 2.2 电子束诱导铂沉积工艺优化 | 第23-28页 |
| 2.3 CNT 和 Si 探针针尖的结合力优化 | 第28-29页 |
| 2.4 SWNT 探针的尝试与论证 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 CNT 探针几何参数控制 | 第32-41页 |
| 3.1 CNT 角度和直线度控制 | 第32-36页 |
| 3.2 长度控制 | 第36-40页 |
| 3.2.1 CNT 长度对探针性能的影响 | 第36-37页 |
| 3.2.2 “纳米刀”高精度截断 CNT | 第37-40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 CNT 探针成像假象研究与假象消除 | 第41-52页 |
| 4.1 成像假象研究 | 第41-45页 |
| 4.1.1 成像假象介绍 | 第41页 |
| 4.1.2 双刚度模型 | 第41-42页 |
| 4.1.3 相互作用力与机理解释 | 第42-45页 |
| 4.2 CNT 探针横向刚度增强技术 | 第45-51页 |
| 4.2.1 有效性论证 | 第46-47页 |
| 4.2.2 CNT 探针横向刚度增强技术的工艺优化 | 第47-50页 |
| 4.2.3 成像检验 | 第50-51页 |
| 4.3 小结与展望 | 第51-52页 |
| 第五章 CNT 探针对典型微纳米结构的检测 | 第52-61页 |
| 5.1 微纳米结构的聚焦离子束加工 | 第52-56页 |
| 5.1.1 聚焦离子束系统结构和基本原理 | 第52页 |
| 5.1.2 工艺优化 | 第52-55页 |
| 5.1.3 微纳结构的加工 | 第55-56页 |
| 5.2 CNT 探针成像性能验证 | 第56-60页 |
| 5.2.1 标准件的探测 | 第56-57页 |
| 5.2.2 纳米细线的探测 | 第57-58页 |
| 5.2.3 凹槽结构的探测 | 第58-60页 |
| 5.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 工作总结 | 第61页 |
| 6.2 工作展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |