| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第14-41页 |
| 1.1 课题来源 | 第14页 |
| 1.2 研究背景 | 第14-16页 |
| 1.3 太阳电池简介 | 第16-19页 |
| 1.4 SIS异质结太阳电池 | 第19-33页 |
| 1.4.1 基本结构 | 第19-20页 |
| 1.4.2 国内外研究现状 | 第20-23页 |
| 1.4.3 目前存在的问题 | 第23-33页 |
| 1.5 选题意义及主要研究内容 | 第33-34页 |
| 参考文献 | 第34-41页 |
| 第二章 SIS结构光电器件的制备及表征方法 | 第41-50页 |
| 2.1 化学试剂和材料 | 第41-42页 |
| 2.2 化学清洗工艺及制绒 | 第42-43页 |
| 2.2.1 去损伤工艺 | 第42页 |
| 2.2.2 RCA清洗工艺 | 第42页 |
| 2.2.3 单晶硅制绒工艺 | 第42-43页 |
| 2.3 样品制备设备 | 第43-46页 |
| 2.3.1 磁控溅射 | 第43-44页 |
| 2.3.2 快速热处理（RTP） | 第44-45页 |
| 2.3.3 真空蒸发镀膜 | 第45页 |
| 2.3.4 反应离子刻蚀 | 第45-46页 |
| 2.4 测试表征技术 | 第46-49页 |
| 参考文献 | 第49-50页 |
| 第三章 ITO/SiO_x/n-Si结构光伏器件的制备与分析 | 第50-77页 |
| 3.1 引言 | 第50-51页 |
| 3.2 SIS器件的制备与表征 | 第51-52页 |
| 3.2.1 SIS器件的制备 | 第51-52页 |
| 3.2.2 SIS器件的表征 | 第52页 |
| 3.3 ITO/SiO_x/n-Si结构光伏器件的工作原理研究 | 第52-61页 |
| 3.3.1 制备条件对ITO薄膜性质和ITO/SiO_x/n-Si器件的影响 | 第52-60页 |
| 3.3.2 ITO/SiO_x/n-Si结构光伏器件的工作原理 | 第60-61页 |
| 3.4 ITO/SiO_x/n-Si结构光伏器件的载流子输运研究 | 第61-70页 |
| 3.4.1 ITO薄膜厚度对ITO/SiO_x/n-Si器件的影响 | 第62-68页 |
| 3.4.2 ITO/SiO_x/n-Si结构光伏器件中的载流子输运 | 第68-70页 |
| 3.5 ITO/SiO_x/n-Si结构光伏器件改进 | 第70-73页 |
| 3.5.1 n-Si背面扩散工艺 | 第70-72页 |
| 3.5.2 表面正金字塔织构化 | 第72-73页 |
| 3.6 本章小结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 第四章 ITO/SiO_x/n-Si结构光伏器件的变温特性研究 | 第77-92页 |
| 4.1 引言 | 第77页 |
| 4.2 实验方法 | 第77-80页 |
| 4.3 ITO/SiO_x/n-Si器件室温下的性能 | 第80页 |
| 4.4 ITO/SiO_x/n-Si器件的低温特性 | 第80-86页 |
| 4.4.1 开路电压随温度变化的趋势分析 | 第80-84页 |
| 4.4.2 短路电流随温度变化的趋势分析 | 第84-86页 |
| 4.5 ITO/SiO_x/n-Si器件稳定性测试 | 第86-88页 |
| 4.5.1 高温光伏特性 | 第87-88页 |
| 4.5.2 随时间的稳定性测试 | 第88页 |
| 4.6 本章小结 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-92页 |
| 第五章“S型”电流-电压特性曲线的研究 | 第92-101页 |
| 5.1 引言 | 第92页 |
| 5.2 实验方法 | 第92-93页 |
| 5.3 AZO/SiO_x/n-Si器件中的“S型”I-V曲线 | 第93-95页 |
| 5.4 ITO/SiO_x/n-Si器件中的“S型”I-V曲线 | 第95-96页 |
| 5.5 理论分析 | 第96-99页 |
| 5.6 本章小结 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-101页 |
| 第六章 SIS结构与HIT电池集成器件的研究 | 第101-110页 |
| 6.1 引言 | 第101-102页 |
| 6.2 实验方法 | 第102-105页 |
| 6.3 光伏特性表征 | 第105-108页 |
| 6.3.1 HIT电池的光伏特性 | 第105-107页 |
| 6.3.2 集成器件的光伏特性表征 | 第107-108页 |
| 6.4 本章小结 | 第108-109页 |
| 参考文献 | 第109-110页 |
| 第七章 总结与展望 | 第110-112页 |
| 7.1 总结 | 第110-111页 |
| 7.2 展望 | 第111-112页 |
| 作者在攻读博士学位期间公开发表的论文 | 第112-115页 |
| 作者在攻读博士学位期间获奖情况 | 第115-116页 |
| 作者在攻读博士学位期间参加的项目 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
