多晶硅精馏技术理论分析与工程化研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 多晶硅分离工艺概述 | 第7-12页 |
| 1.1.1 改良西门子技术 | 第7-9页 |
| 1.1.2 硅烷法 | 第9-12页 |
| 1.1.3 冶金法 | 第12页 |
| 1.2 多晶硅精馏技术的发展 | 第12-14页 |
| 1.2.1 精馏的原理及目的 | 第12-13页 |
| 1.2.2 精馏技术的发展 | 第13-14页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第14-15页 |
| 第二章 多晶硅分离方法讨论中的物料分析 | 第15-28页 |
| 2.1 原料及产品质量标准 | 第15-17页 |
| 2.1.1 产品多晶硅的质量标准 | 第15-16页 |
| 2.1.2 原料硅粉的质量标准 | 第16-17页 |
| 2.2 杂质的来源及存在形式 | 第17-19页 |
| 2.2.1 杂质的来源 | 第17页 |
| 2.2.2 杂质元素存在形式 | 第17-19页 |
| 2.3 被分离物质的特性及质量要求 | 第19-22页 |
| 2.3.1 物料1的特性及质量指标 | 第19-20页 |
| 2.3.2 物料2的特性及质量指标 | 第20-22页 |
| 2.3.3 物料3的特性及质量指标 | 第22页 |
| 2.4 适宜的分离方法讨论 | 第22-28页 |
| 2.4.1 分离方法讨论 | 第22-24页 |
| 2.4.2 精馏方法讨论 | 第24-26页 |
| 2.4.3 精馏分离序列讨论 | 第26-28页 |
| 第三章 多晶硅精馏技术研究与工程化应用 | 第28-58页 |
| 3.1 初步的精馏序列方案 | 第28-30页 |
| 3.1.1 物料1的精馏序列 | 第28-29页 |
| 3.1.2 物料2的精馏序列 | 第29页 |
| 3.1.3 物料3的精馏序列 | 第29-30页 |
| 3.2 初步方案的计算与优化 | 第30-43页 |
| 3.2.1 物料1的计算与优化 | 第30-35页 |
| 3.2.2 物料2的计算与优化 | 第35-39页 |
| 3.2.3 物料3的计算与优化 | 第39-42页 |
| 3.2.4 初步方案的物耗和能耗分析 | 第42-43页 |
| 3.3 修正的精馏序列方案 | 第43-51页 |
| 3.3.1 修正的目的及原则 | 第43-45页 |
| 3.3.2 修正方案的精馏序列方案 | 第45-49页 |
| 3.3.3 新增有效组分的回收方案 | 第49-50页 |
| 3.3.4 新增能量有效利用方案 | 第50-51页 |
| 3.4 修正方案的计算 | 第51-57页 |
| 3.4.1 修正方案的模拟参数输入原则 | 第51-52页 |
| 3.4.2 修正方案的模拟计算 | 第52-54页 |
| 3.4.3 修正方案的能量耦合 | 第54-55页 |
| 3.4.4 修正方案的结果分析 | 第55-57页 |
| 3.5 工程化应用 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
