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太阳能多晶硅片电解磨削多线切割加工试验研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
略缩词第11-12页
第一章 绪论第12-20页
    1.1 课题研究背景第12-18页
        1.1.1 光伏行业的出现第12-14页
        1.1.2 晶硅太阳能电池的制造以及发电原理第14-16页
        1.1.3 切片技术的发展历史以及现状第16-18页
    1.2 课题来源及研究意义第18页
        1.2.1 课题来源第18页
        1.2.2 研究意义第18页
    1.3 课题主要研究内容第18-20页
第二章 电解磨削多线切割加工试验方法第20-32页
    2.1 电解磨削多线切割加工第20-25页
        2.1.1 电解磨削多线切割加工原理第20-22页
        2.1.2 电解磨削多线切割加工材料去除机理第22-25页
    2.2 电解磨削多线切割加工理论性分析及验证第25-31页
        2.2.1 技术可行性分析第25-26页
        2.2.2 多线切割机兼容性验证第26-31页
    2.3 本章小结第31-32页
第三章 电解磨削多线切割加工试验平台搭建第32-49页
    3.1 试验系统的组成第32-46页
        3.1.1 多线切割系统第32-37页
        3.1.2 切削液第37-38页
        3.1.3 电解磨削电源第38-43页
        3.1.4 检测设备第43-46页
    3.2 试验的工艺参数第46页
    3.3 试验对象的选择第46-48页
    3.4 本章小结第48-49页
第四章 试验与结果分析第49-65页
    4.1 加工试验整体方案设计第49页
    4.2 试验过程第49-52页
    4.3 试验结果与分析第52-64页
        4.3.1 试验结果记录第53-56页
            4.3.1.1 电解磨削多线切割全点杂多晶硅棒第53-54页
            4.3.1.2 电解磨削多线切割半点杂多晶硅棒第54-56页
        4.3.2 试验结果分析第56-64页
            4.3.2.1 切片指标第56-59页
            4.3.2.2 切割线拉断力第59-60页
            4.3.2.3 砂浆品质第60-62页
            4.3.2.4 硅片表面形貌第62-64页
    4.4 本章小结第64-65页
第五章 总结与展望第65-67页
    5.1 本文总结第65-66页
    5.2 研究展望第66-67页
参考文献第67-71页
致谢第71-72页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第72页

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