| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 引言 | 第8-15页 |
| 1.1 研究氩等离子体中亚稳态原子的意义 | 第8-10页 |
| 1.2 氩亚稳态原子表面退激概率研究 | 第10-12页 |
| 1.3 氩亚稳态原子密度测量 | 第12-13页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 激光吸收方法和自吸收方法测量氩亚稳态原子密度 | 第15-40页 |
| 2.1 激光吸收方法原理 | 第15-16页 |
| 2.2 自吸收方法模型 | 第16-26页 |
| 2.2.1 上能级辐射和亚稳态原子空间分布相同 | 第19-20页 |
| 2.2.2 上能级辐射和亚稳态原子空间分布不同 | 第20-26页 |
| 2.3 自吸收方法模型计算结果 | 第26-31页 |
| 2.3.1 发射光谱强度 | 第26-29页 |
| 2.3.2 光谱强度比和相对偏差 | 第29-30页 |
| 2.3.3 空间分布连续变化时的光谱强度比 | 第30-31页 |
| 2.4 实验装置和条件 | 第31-33页 |
| 2.5 实验测量结果 | 第33-39页 |
| 2.5.1 激光吸收方法测得的亚稳态原子密度 | 第33-35页 |
| 2.5.2 自吸收方法测得的光谱强度比 | 第35-36页 |
| 2.5.3 自吸收方法测得的密度与激光吸收方法的比较 | 第36-39页 |
| 2.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 氩亚稳态原子表面退激概率研究 | 第40-55页 |
| 3.1 表面退激概率的测量方法 | 第40-43页 |
| 3.2 实验装置和条件 | 第43-45页 |
| 3.3 实验测量结果 | 第45-50页 |
| 3.3.1 电子密度的时间演化 | 第45页 |
| 3.3.2 亚稳态密度的时间演化和扩散损失速率 | 第45-47页 |
| 3.3.3 气体温度 | 第47页 |
| 3.3.4 表面退激概率 | 第47-50页 |
| 3.4 表面退激概率的讨论 | 第50-52页 |
| 3.5 不确定度 | 第52-54页 |
| 3.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 结论 | 第55-58页 |
| 4.1 主要研究结果 | 第55-56页 |
| 4.2 局限性和进一步工作 | 第56-57页 |
| 4.3 主要创新点 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第66页 |