基于SU-8胶的新型被动式微型阀研究
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-15页 |
| 1.2 研究微型阀的意义 | 第15-16页 |
| 1.3 微型阀研究的现状 | 第16-19页 |
| 1.3.1 主动式微阀 | 第17-18页 |
| 1.3.2 被动式微阀 | 第18-19页 |
| 1.4 论文研究的目标 | 第19-20页 |
| 1.5 论文研究的内容和方法 | 第20-21页 |
| 1.5.1 研究的内容 | 第20-21页 |
| 1.5.2 研究的方法 | 第21页 |
| 1.6 主要结论 | 第21页 |
| 1.7 本章小结 | 第21-23页 |
| 第二章 被动式微型阀特性 | 第23-34页 |
| 2.1 基本微流体理论 | 第23-25页 |
| 2.1.1 流体的运动状态 | 第23-24页 |
| 2.1.2 表面张力 | 第24页 |
| 2.1.3 尺寸效应 | 第24-25页 |
| 2.2 被动式微型阀的要求 | 第25-28页 |
| 2.2.1 功能要求 | 第25-26页 |
| 2.2.2 结构要求 | 第26-28页 |
| 2.2.3 其他要求 | 第28页 |
| 2.3 被动式微型阀的设计思路 | 第28-29页 |
| 2.4 被动式微型阀的选材 | 第29-30页 |
| 2.4.1 硅 | 第29页 |
| 2.4.2 形状记忆合金 | 第29页 |
| 2.4.3 聚酰亚胺（PI） | 第29-30页 |
| 2.4.4 聚二甲基硅氧烷（PDMS） | 第30页 |
| 2.4.5 SU-8 胶 | 第30页 |
| 2.5 被动式微型阀过流特性分析 | 第30-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 微型阀的设计与优化 | 第34-43页 |
| 3.1 结构设计 | 第34-36页 |
| 3.2 结构优化 | 第36-41页 |
| 3.2.1 ANSYS仿真软件 | 第36页 |
| 3.2.2 设计微型阀的力学结构仿真 | 第36-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 设计微型阀的制作及测试 | 第43-75页 |
| 4.1 微加工技术工艺 | 第43-50页 |
| 4.1.1 三维非硅微加工技术 | 第43页 |
| 4.1.2 基于SU-8 胶的光刻工艺 | 第43-48页 |
| 4.1.3 牺牲层技术 | 第48-49页 |
| 4.1.4 玻璃湿法刻蚀技术 | 第49-50页 |
| 4.2 设计微型阀的制造 | 第50-61页 |
| 4.2.1 工艺路线 | 第50-57页 |
| 4.2.2 制备过程中的一些问题及应对措施 | 第57-61页 |
| 4.3 工艺方案优化 | 第61-65页 |
| 4.4 微型阀测试 | 第65-73页 |
| 4.4.1 微型阀性能测试方案 | 第65-67页 |
| 4.4.2 被动式微型阀过流特性测试及分析 | 第67-71页 |
| 4.4.3 测试方案优化 | 第71页 |
| 4.4.4 根据测试结果来优化微阀结构 | 第71-73页 |
| 4.5 本章小结 | 第73-75页 |
| 第五章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 5.1 设计微型阀的创新点 | 第75页 |
| 5.2 主要结论 | 第75-76页 |
| 5.3 研究展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第81页 |
