| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.1 长脉冲激光对石英玻璃加工的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 短脉冲激光对石英玻璃加工的研究现状 | 第13-18页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 实验材料、方法和装置 | 第20-26页 |
| 2.1 实验材料 | 第20-21页 |
| 2.2 实验设备与研究方法 | 第21-24页 |
| 2.2.1 实验设备 | 第21-22页 |
| 2.2.2 激光制孔工艺方法 | 第22-23页 |
| 2.2.3 短脉冲激光对玻璃加工的方法 | 第23-24页 |
| 2.3 玻璃加工质量分析及性能测试方法 | 第24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-26页 |
| 第3章 石英玻璃纳秒激光加工研究及分析 | 第26-36页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 纳秒激光加工石英玻璃基础实验研究 | 第26-30页 |
| 3.2.1 激光能量密度对石英玻璃加工的影响 | 第26-27页 |
| 3.2.2 激光离焦量对石英玻璃加工的影响 | 第27-28页 |
| 3.2.3 激光扫描次数对石英玻璃加工的影响 | 第28-29页 |
| 3.2.4 激光扫描速度对石英玻璃加工的影响 | 第29-30页 |
| 3.3 纳秒激光对石英玻璃加工结果及分析 | 第30-33页 |
| 3.3.1 不同环境下石英玻璃通孔加工结果 | 第30-32页 |
| 3.3.2 不同加工工艺下石英玻璃通孔加工结果 | 第32-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-36页 |
| 第4章 石英玻璃微孔阵列皮秒激光加工研究及分析 | 第36-56页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 皮秒激光加工石英玻璃理论基础分析 | 第36-38页 |
| 4.3 石英玻璃皮秒激光微孔加工实验研究 | 第38-53页 |
| 4.3.1 1064 nm皮秒激光对石英玻璃加工研究 | 第38-44页 |
| 4.3.2 532 nm皮秒激光对石英玻璃加工研究 | 第44-49页 |
| 4.3.3 不同波长皮秒激光对石英玻璃制孔实验对比 | 第49-50页 |
| 4.3.4 皮秒激光对不同厚度玻璃加工及异形孔加工结果 | 第50-53页 |
| 4.4 微孔阵列皮秒激光加工结果及分析 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间所完成的学术论文与专利申请 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
