| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·纳米材料的特性 | 第9-10页 |
| ·纳米材料的应用 | 第10-11页 |
| ·电子信息领域的应用 | 第10页 |
| ·在航空航天领域中的应用 | 第10页 |
| ·环保和能源领域中的应用 | 第10页 |
| ·生物医药领域中的应用 | 第10-11页 |
| ·纳米薄膜及透明导电薄膜 | 第11-13页 |
| ·纳米薄膜 | 第11页 |
| ·透明导电薄膜 | 第11-13页 |
| ·ZnO的基本性质介绍及研究进展 | 第13-16页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第13-15页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜 | 第15页 |
| ·ZnO的n型掺杂 | 第15-16页 |
| ·ZnO的p型掺杂 | 第16页 |
| ·选题依据 | 第16-17页 |
| ·ZnO的Al掺杂 | 第16-17页 |
| ·ZnO的Zr掺杂 | 第17页 |
| 参考文献 | 第17-21页 |
| 第二章 ZnO基透明导电薄膜的制备方法及表征方法 | 第21-29页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第21-24页 |
| ·溶胶-凝胶(Sol-Gel)技术 | 第21页 |
| ·喷雾热分解法 | 第21-22页 |
| ·分子束外延(MBE) | 第22页 |
| ·激光脉冲沉积(PLD) | 第22-23页 |
| ·化学气相沉积(CVD) | 第23页 |
| ·磁控溅射技术 | 第23-24页 |
| ·本论文主要用到的表征方法 | 第24-26页 |
| ·X射线衍射技术(XRD) | 第24-25页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第25页 |
| ·薄膜电阻率的测试 | 第25-26页 |
| ·薄膜光学透射光谱 | 第26页 |
| 参考文献 | 第26-29页 |
| 第三章 Al、Zr单一掺杂的ZnO薄膜的性能研究 | 第29-37页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第29-30页 |
| ·薄膜样品表征手段 | 第30页 |
| ·实验结果与讨论 | 第30-34页 |
| ·纯ZnO薄膜的制备与表征 | 第30-31页 |
| ·单一Al、Zr掺杂的ZnO薄膜的性能表征 | 第31-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 参考文献 | 第35-37页 |
| 第四章 Al-Zr共掺杂的ZnO薄膜性能研究 | 第37-46页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第37-38页 |
| ·薄膜样品表征手段 | 第38页 |
| ·不同沉积时间的Al-Zr共掺杂的ZnO薄膜的研究 | 第38-43页 |
| ·结构分析 | 第38-39页 |
| ·表面形貌分析 | 第39-40页 |
| ·电学性能研究 | 第40-41页 |
| ·光学性能研究 | 第41-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
| 第五章 Al-Zr共掺杂的ZnO纳米片的性能研究 | 第46-55页 |
| 引言 | 第46页 |
| ·Al-Zr共掺杂的ZnO薄膜的制备 | 第46-47页 |
| ·薄膜样品表征手段 | 第47页 |
| ·实验结果与讨论 | 第47-52页 |
| ·薄膜的结构分析 | 第47-48页 |
| ·表面形貌分析 | 第48-51页 |
| ·光学性能研究 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 结论与展望 | 第55-57页 |
| 研究生阶段发表的论文目录 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |