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氮化镓基半导体电力电子器件击穿机理研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-15页
符号对照表第15-17页
缩略语对照表第17-21页
第一章 绪论第21-27页
   ·氮化镓材料在电力电子领域的优势第21-23页
   ·氮化镓基电力电子器件的研究进展第23-25页
   ·本论文的研究内容和安排第25-27页
第二章 基础问题讨论第27-43页
   ·材料生长与器件工艺第27-31页
     ·材料生长及材料结构第27-28页
     ·器件工艺制造第28-31页
   ·器件仿真中的问题第31-36页
     ·器件模型第31-32页
     ·击穿电压的判定第32-35页
     ·基于耗尽区宽度的讨论第35-36页
   ·基本参数判断标准的讨论第36-39页
     ·最大输出电流第36-37页
     ·阈值电压第37页
     ·栅漏电第37-38页
     ·击穿电压第38页
     ·特征导通电阻第38-39页
   ·GaN基HEMT击穿机制的讨论第39-41页
   ·本章小结第41-43页
第三章 肖特基漏HEMT相关击穿机理研究第43-59页
   ·肖特基漏提高击穿特性的机理研究第43-49页
     ·肖特基漏HEMT输出转移特性第43-45页
     ·肖特基漏HEMT击穿特性第45-49页
   ·漏场板对反偏阻断电压的提高作用第49-54页
     ·仿真模型的设定第49-50页
     ·漏场板对反偏阻断电压的影响第50-54页
   ·漏场板对正偏阻断特性的影响第54-58页
     ·器件仿真设计第54-55页
     ·漏场板对正偏阻断电压的影响第55-58页
   ·本章小结第58-59页
第四章 新型耗尽电容模型的提出第59-73页
   ·高k钝化层提高GaN基HEMT击穿电压第59-61页
     ·击穿电压随介电常数的变化关系第59-61页
     ·击穿电压随钝化层厚度的变化关系第61页
   ·新型耗尽电容模型第61-69页
     ·耗尽电容模型的提出第62-64页
     ·介电常数对击穿特性影响的分析解释第64-66页
     ·钝化层厚度对击穿特性影响的分析解释第66-67页
     ·栅金属厚度和场板厚度对击穿电压的影响第67-69页
   ·采用高k钝化层实现的高特性AlGaN/GaN HEMT第69-72页
   ·本章小结第72-73页
第五章 高性能器件第73-89页
   ·AlGaN沟道HEMT器件第73-78页
     ·AlGaN沟道HEMT器件直流特性第73-75页
     ·AlGaN沟道HEMT的陷阱态研究第75-78页
   ·增强型InAlN/GaN MISHEMT器件第78-83页
   ·1.8 kV环形AlGaN/GaN HEMT器件第83-87页
   ·本章小结第87-89页
第六章 GaN基HEMT击穿表征方法的分析研究第89-105页
   ·常规击穿表征方法存在问题的提出第90-92页
   ·关于泄漏电流和击穿曲线的讨论第92-100页
     ·泄漏电流与击穿曲线第92-95页
     ·泄漏电流和击穿机理的关系第95-99页
     ·关态应力击穿第99-100页
   ·改进的击穿表征方法第100-102页
   ·本章小结第102-105页
第七章 总结与展望第105-109页
   ·本论文总结第105-107页
   ·未来工作展望第107-109页
参考文献第109-119页
致谢第119-121页
作者简介第121-125页

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