热膜式气体流量传感器仿真研究

中文摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
第1章 绪论	第7-15页
·研究的目的和意义	第7-9页
·国内外发展状况	第9-14页
·国外情况	第9-12页
·国内情况	第12-14页
·本文主要研究的内容	第14-15页
第2章 热膜式流量传感器的工作原理和基本结构	第15-23页
·传感器传热情况	第15-18页
·强迫对流传热	第15-16页
·自然对流传热	第16-17页
·导热传热	第17页
·辐射传热	第17-18页
·工作原理	第18-21页
·基本结构	第21-22页
·本章小结	第22-23页
第3章 传感器芯片的仿真分析	第23-33页
·传感器芯片结构	第23-24页
·ANSYS 软件有限元热分析	第24-32页
·气体流量传感器热分析	第25-26页
·热膜式气体流量传感器的传热分析	第26-32页
·优化结果	第32页
·本章小结	第32-33页
第4章 传感器芯片的工艺制备	第33-37页
·工艺设计	第33-34页
·工艺制作	第34-36页
·本章小结	第36-37页
第5章 传感器测试	第37-46页
·敏感膜表面温度检测	第37-38页
·传感器的封装和信号处理电路	第38-39页
·传感器的封装结构	第38页
·传感器的信号处理电路	第38-39页
·流量传感器的输出电压测试	第39-44页
·传感器的静态特性	第39-43页
·实验结果	第43-44页
·本章小结	第44-46页
结论	第46-47页
参考文献	第47-53页
致谢	第53页