| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·快速热处理设备国内外研究情况 | 第7-8页 |
| ·快速热处理设备国外研究情况 | 第7页 |
| ·快速热处理设备国内研究情况 | 第7-8页 |
| ·快速热处理(RTP)机械系统简介 | 第8-12页 |
| ·快速热处理技术简介 | 第8页 |
| ·快速热处理设备简介 | 第8-12页 |
| ·快速热处理(RTP)控制系统的IGBI驱动电路简介 | 第12-13页 |
| ·快速热处理设备控制系统工艺要求 | 第13页 |
| ·本论文的研究意义及章节安排 | 第13-15页 |
| ·本课题研究的意义 | 第13-14页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第14页 |
| ·本论文研究的章节安排 | 第14-15页 |
| 2 卤素灯加热系统分析 | 第15-26页 |
| ·卤素灯加热系统结构及工作原理 | 第15-16页 |
| ·卤素灯伺服放大系统构成 | 第15-16页 |
| ·卤素灯伺服放大系统加热系统结构 | 第16页 |
| ·加热方式的选择及光源分布方式 | 第16-18页 |
| ·辐射换热角系数计算 | 第18-20页 |
| ·卤素灯功率计算 | 第20-21页 |
| ·卤素灯加热均匀性分析 | 第21-26页 |
| 3 加热系统测控原理研究 | 第26-32页 |
| ·加热系统主要元器件 | 第26页 |
| ·加热系统温度闭环控制方法 | 第26页 |
| ·加热系统能量闭环控制方法 | 第26-32页 |
| 4 卤素灯驱动电路设计研究 | 第32-62页 |
| ·卤素灯伺服放大器驱动电路设计方案研究 | 第32-47页 |
| ·卤素灯伺服放大器模拟闭环设计方案研究 | 第33-39页 |
| ·卤素灯伺服放大器单片机闭环设计方案研究 | 第39-43页 |
| ·卤素灯伺服放大器FPGA闭环设计方案研究 | 第43-47页 |
| ·卤素灯伺服放大器驱动电路设计 | 第47-62页 |
| ·卤素灯伺服放大器加热系统电源接入端设计 | 第47-51页 |
| ·卤素灯伺服放大器加热系统电源整流设计 | 第51-52页 |
| ·卤素灯伺服放大器加热系统电源滤波设计 | 第52-53页 |
| ·卤素灯伺服放大器加热系统功率模块设计 | 第53-54页 |
| ·卤素灯伺服放大器加热系统驱动IGBT的驱动电路设计 | 第54-58页 |
| ·卤素灯伺服放大器电流检测电路设计 | 第58-59页 |
| ·卤素灯伺服放大器电压检测电路设计 | 第59-60页 |
| ·卤素灯伺服放大器电路板供电模块设计 | 第60-61页 |
| ·卤素灯伺服放大器加热系统控制总图 | 第61-62页 |
| 5 卤素灯驱动电路实验系统描述和实验总结 | 第62-67页 |
| ·卤素灯伺服放大器驱动电路实验描述 | 第62-63页 |
| ·驱动电路上位机关于产生PWM波的描述 | 第63-64页 |
| ·驱动电路实验评价及总结 | 第64-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72-73页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |