物理法提纯冶金级硅及其机理研究
中文摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-8页 |
第一章 绪论 | 第8-18页 |
·能源问题与环境问题 | 第8-10页 |
·硅太阳能电池概述 | 第10-13页 |
·太阳能电池分类 | 第10页 |
·硅太阳能电池的发展 | 第10-11页 |
·硅太阳能电池的原理 | 第11-13页 |
·太阳能级硅 | 第13-15页 |
参考文献 | 第15-18页 |
第二章 太阳能级硅提纯技术简介 | 第18-31页 |
·化学法提纯冶金级硅 | 第18-21页 |
·化学法的基本概念 | 第18页 |
·化学法经典工艺介绍 | 第18-21页 |
·物理法提纯冶金级硅 | 第21-26页 |
·物理法的基本概念 | 第21页 |
·常用的物理方法简介 | 第21-26页 |
·本文立意 | 第26-28页 |
参考文献 | 第28-31页 |
第三章 多孔硅吸杂提纯冶金级硅 | 第31-38页 |
·序言 | 第31页 |
·实验过程 | 第31-32页 |
·实验结果与讨论 | 第32-35页 |
·本章小结 | 第35-36页 |
参考文献 | 第36-38页 |
第四章 微波等离子体提纯冶金级硅 | 第38-48页 |
·序言 | 第38页 |
·实验方法 | 第38-39页 |
·实验结果与讨论 | 第39-43页 |
·本章小结 | 第43-45页 |
参考文献 | 第45-48页 |
第五章 总结与展望 | 第48-50页 |
·本论文的主要结论 | 第48-49页 |
·下一步工作展望 | 第49-50页 |
硕士在读期间的研究成果 | 第50-52页 |
致谢 | 第52页 |