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物理法提纯冶金级硅及其机理研究

中文摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第一章 绪论第8-18页
   ·能源问题与环境问题第8-10页
   ·硅太阳能电池概述第10-13页
     ·太阳能电池分类第10页
     ·硅太阳能电池的发展第10-11页
     ·硅太阳能电池的原理第11-13页
   ·太阳能级硅第13-15页
 参考文献第15-18页
第二章 太阳能级硅提纯技术简介第18-31页
   ·化学法提纯冶金级硅第18-21页
     ·化学法的基本概念第18页
     ·化学法经典工艺介绍第18-21页
   ·物理法提纯冶金级硅第21-26页
     ·物理法的基本概念第21页
     ·常用的物理方法简介第21-26页
   ·本文立意第26-28页
 参考文献第28-31页
第三章 多孔硅吸杂提纯冶金级硅第31-38页
   ·序言第31页
   ·实验过程第31-32页
   ·实验结果与讨论第32-35页
   ·本章小结第35-36页
 参考文献第36-38页
第四章 微波等离子体提纯冶金级硅第38-48页
   ·序言第38页
   ·实验方法第38-39页
   ·实验结果与讨论第39-43页
   ·本章小结第43-45页
 参考文献第45-48页
第五章 总结与展望第48-50页
   ·本论文的主要结论第48-49页
   ·下一步工作展望第49-50页
硕士在读期间的研究成果第50-52页
致谢第52页

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