| 引言 | 第1-7页 |
| 第一章微结构气体传感器及其关键技术 | 第7-22页 |
| ·微热板的基本知识 | 第7-11页 |
| ·有限元分析基础 | 第11-21页 |
| ·本章小节 | 第21-22页 |
| 第二章 微结构气敏元件的结构设计、模拟、优化和制作 | 第22-44页 |
| ·传感器的结构设计及工作原理 | 第22-24页 |
| ·Ansys 热分析过程 | 第24-29页 |
| ·利用Ansys 进行模拟的结果 | 第29-32页 |
| ·结果分析 | 第32-33页 |
| ·结果的优化 | 第33-35页 |
| ·传感器的结构的优化 | 第35-36页 |
| ·SiO_2和SiNx 绝缘材料对比 | 第36-37页 |
| ·传感器中加热器和信号电极的优化 | 第37-38页 |
| ·优化后的传感器温度分布 | 第38-39页 |
| ·基底厚度对温度分布的影响 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 微小区域测温系统的建立与应用 | 第44-55页 |
| ·光纤探测温度工作原理 | 第45-48页 |
| ·测量与对比 | 第48-50页 |
| ·利用Ansys 进行模拟的结果 | 第50-53页 |
| ·微小基片表面温度测量方法及测试系统的建立 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 微结构气体传感器制作工艺过程及微结构气敏元件测试仪的设计和组装 | 第55-65页 |
| ·微机械加工技术 | 第55-61页 |
| ·实际制作传感器所涉及的工艺过程 | 第61-63页 |
| ·硅基微结构气敏元件测试仪的设计及组装 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 在读期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 摘 要 | 第71-74页 |
| Abstract | 第74-78页 |
| 致 谢 | 第78-79页 |
| 导师及作者简介 | 第79页 |