| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1．1 课题背景 | 第9-10页 |
| 1．2 声表面波(SAW)传感器技术研究现状 | 第10-11页 |
| 1．3 SAW波传感器的基本形式 | 第11-13页 |
| 1．3．1 延迟线型 SAW传感器 | 第12页 |
| 1．3．2 谐振型 SAW传感器 | 第12-13页 |
| 1．4 主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 SAW传感器理论基础 | 第15-27页 |
| 2．1 瑞利波性质 | 第15-19页 |
| 2．2 各向异性压电基体上的瑞利波 | 第19-21页 |
| 2．3 SAW的激发和接收 | 第21-22页 |
| 2．4 SAW的波束偏向与衍射 | 第22-23页 |
| 2．4．1 声表面波的波束偏向 | 第22页 |
| 2．4．2 声表面波的衍射 | 第22-23页 |
| 2．5 SAW的传播损耗和基体材料的高频性质 | 第23-24页 |
| 2．6 SAW气敏传感器的基片材料 | 第24-26页 |
| 2．7 本章小节 | 第26-27页 |
| 第三章 SAW传感器建模与分析 | 第27-45页 |
| 3．1 SAW器件的网络表示 | 第27-31页 |
| 3．2 叉指换能器 IDT基本特性 | 第31-33页 |
| 3．3 IDT的δ模型分析 | 第33-35页 |
| 3．4 IDT的等效电路模型 | 第35-41页 |
| 3．5 SAW波器件的二阶效应 | 第41-44页 |
| 3．5．1 指间多次反射效应 | 第41-43页 |
| 3．5．2 压电再生效应 | 第43页 |
| 3．5．3 体波的激发 | 第43-44页 |
| 3．6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 延迟线型 SAW气敏传感器的设计 | 第45-57页 |
| 4．1 SAW传感器结构设计基本考虑 | 第45-47页 |
| 4．1．1 基底材料 LiNb03的选择 | 第45页 |
| 4．1．2 消除温度影响的器件双声路结构考虑 | 第45-47页 |
| 4．2 延迟线型 SAW传感器设计参数的确定 | 第47-52页 |
| 4．2．1 IDT的设计 | 第47-51页 |
| 4．2．2 设计参数总结 | 第51-52页 |
| 4．3 SAW气敏传感器器件频率响应 | 第52页 |
| 4．4 器件制作工艺 | 第52-54页 |
| 4．5 吸收剂及其它辅助设计 | 第54页 |
| 4．6 气敏传感器中敏感膜的选择 | 第54-56页 |
| 4．7 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 延迟线型 SAW气敏传感器信号调理电路的设计 | 第57-70页 |
| 5．1 测量方法分析 | 第57-58页 |
| 5．2 双声路 SAW气体传感器频率测量系统的结构 | 第58-59页 |
| 5．3 测试系统中部分电路设计 | 第59-68页 |
| 5．3．1 SAW延迟线振荡器 | 第59-61页 |
| 5．3．2 石英晶体振荡器 | 第61-65页 |
| 5．3．3 混频器的选择 | 第65-66页 |
| 5．3．4 滤波器的设计 | 第66-68页 |
| 5．4 其他部分电路 | 第68-69页 |
| 5．5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 延迟线型 SAW气敏传感器仿真试验 | 第70-79页 |
| 6．1 敏感原理 | 第70-71页 |
| 6．2 SAW气敏传感器敏感膜分析及响应模拟 | 第71-76页 |
| 6．3 SAW器件的稳健设计探讨 | 第76-79页 |
| 第七章 课题总结 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第87-88页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第88页 |