分层微细电铸基础研究及装置设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| ·微系统与微器件 | 第12-13页 |
| ·国内外高深宽比微细结构制造技术 | 第13-20页 |
| ·传统硅微机械加工技术 | 第14-16页 |
| ·体硅微机械加工技术 | 第14-15页 |
| ·表面硅微机械加工技术 | 第15-16页 |
| ·固相键合技术 | 第16页 |
| ·金属材料微加工技术 | 第16-19页 |
| ·LIGA 和LIGA-Like 技术 | 第16-18页 |
| ·DEM 技术 | 第18-19页 |
| ·LECD 技术 | 第19页 |
| ·EFAB 技术 | 第19页 |
| ·其它高深宽比加工技术 | 第19-20页 |
| ·改进EFAB 技术的提出 | 第20-22页 |
| ·各种微细加工方法的局限性 | 第20-21页 |
| ·改进EFAB 技术的提出 | 第21-22页 |
| ·课题研究的目的意义 | 第22页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第22-24页 |
| 第二章 EFAB 理论基础 | 第24-36页 |
| ·电化学基本理论 | 第24-29页 |
| ·电化学反应原理 | 第24-25页 |
| ·液相传质及电结晶 | 第25-28页 |
| ·法拉第定律 | 第28-29页 |
| ·EFAB 技术 | 第29-32页 |
| ·EFAB 工艺流程 | 第29-30页 |
| ·实时掩模板 | 第30-31页 |
| ·EFAB 工艺的应用前景 | 第31页 |
| ·EFAB 技术缺陷 | 第31-32页 |
| ·改进的EFAB 技术设想 | 第32-35页 |
| ·技术原理 | 第32-35页 |
| ·掩模板的制作 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 基于EFAB 技术的电铸机床研制 | 第36-57页 |
| ·机床简介 | 第36-41页 |
| ·机床总体设计 | 第36-38页 |
| ·机床电沉积单元设计 | 第38-41页 |
| ·掩模板的设计 | 第38-39页 |
| ·掩模板支架的设计 | 第39页 |
| ·阴极夹具的设计 | 第39-41页 |
| ·阴、阳极设计 | 第41页 |
| ·机床控制系统 | 第41-46页 |
| ·机床控制系统概述 | 第41-42页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第42-46页 |
| ·PCI-7344 运动控制卡 | 第42-43页 |
| ·UMI-7764 | 第43-44页 |
| ·压力传感器及选择 | 第44-45页 |
| ·执行电机及驱动器设计 | 第45-46页 |
| ·控制系统构建与软件设计 | 第46-55页 |
| ·Lab VIEW 的运动控制 | 第46-49页 |
| ·Lab VIEW 简介 | 第46-48页 |
| ·Lab VIEW 运动控制库 | 第48-49页 |
| ·控制系统的搭建 | 第49页 |
| ·系统性能调试 | 第49-50页 |
| ·试验控制程序设计 | 第50-55页 |
| ·程序模块设计 | 第50-54页 |
| ·界面设计 | 第54-55页 |
| ·电铸液循环、温控系统 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 微细电铸的基础工艺试验 | 第57-70页 |
| ·电铸材料及电铸液组成 | 第57-59页 |
| ·电铸材料 | 第57页 |
| ·电铸液组成 | 第57-59页 |
| ·微细电铸工艺 | 第59-63页 |
| ·工艺基础 | 第59-61页 |
| ·高深宽比微结构的工艺特征 | 第59-60页 |
| ·加工参数控制 | 第60-61页 |
| ·工艺路线 | 第61-63页 |
| ·微细电铸试验及结果分析 | 第63-69页 |
| ·操作过程 | 第63页 |
| ·试验结果及分析 | 第63-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·总结 | 第70页 |
| ·展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第76页 |
