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非线性振动压电式能量采集器的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
1 绪论第9-18页
   ·本文课题的提出与研究意义第9-13页
     ·课题的提出第9-12页
     ·研究意义第12-13页
   ·国内外研究现状第13-17页
   ·本文的研究工作第17-18页
2 基础理论第18-33页
   ·压电理论第18-26页
     ·压电材料和压电效应第18-21页
     ·锆钛酸铅压电陶瓷材料第21-22页
     ·压电悬臂梁的频率特性第22-23页
     ·压电双晶片式悬臂梁第23-26页
   ·非线性振动理论第26-28页
     ·非线性振动的描述第26-28页
     ·杜芬方程描述非线性振动第28页
   ·压电式能量采集器第28-32页
     ·压电式能量采集器的前端结构第28-30页
     ·压电式能量采集器的电路部分第30-32页
   ·本章小结第32-33页
3 基于压电双晶片的压电式能量采集器研究第33-43页
   ·压电式能量采集器的结构模型第33-35页
   ·压电式能量采集器的性能测试第35-41页
     ·压电式能量采集器的振动阻尼测试第35-37页
     ·压电式能量采集器的静态磁场排斥力测试第37-38页
     ·压电式能量采集器的仿真分析第38页
     ·压电式能量采集器的输出特性第38-41页
   ·本章小结第41-43页
4 压电式MEMS能量采集器研究第43-56页
   ·压电式MEMS能量采集器的设计第43-46页
     ·压电式MEMS能量采集器的结构模型第43-45页
     ·压电式MEMS能量采集器的固有频率分析第45-46页
   ·压电式MEMS能量采集器的加工工艺第46-49页
     ·二氧化硅薄膜的制备第46-47页
     ·压电微悬臂梁的制作工艺第47-49页
   ·压电式MEMS能量采集器的性能测试第49-55页
     ·PZT薄膜的介电常数和介质损耗第49-50页
     ·PZT薄膜的漏电流特性第50-51页
     ·压电式MEMS能量采集器的静态磁场微排斥力测试第51页
     ·压电式MEMS能量采集器的仿真分析第51-53页
     ·压电式MEMS能量采集器的输出特性测试第53-55页
   ·本章小结第55-56页
结论第56-57页
参考文献第57-62页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第62-63页
致谢第63-64页

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