非线性振动压电式能量采集器的研究
摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-9页 |
1 绪论 | 第9-18页 |
·本文课题的提出与研究意义 | 第9-13页 |
·课题的提出 | 第9-12页 |
·研究意义 | 第12-13页 |
·国内外研究现状 | 第13-17页 |
·本文的研究工作 | 第17-18页 |
2 基础理论 | 第18-33页 |
·压电理论 | 第18-26页 |
·压电材料和压电效应 | 第18-21页 |
·锆钛酸铅压电陶瓷材料 | 第21-22页 |
·压电悬臂梁的频率特性 | 第22-23页 |
·压电双晶片式悬臂梁 | 第23-26页 |
·非线性振动理论 | 第26-28页 |
·非线性振动的描述 | 第26-28页 |
·杜芬方程描述非线性振动 | 第28页 |
·压电式能量采集器 | 第28-32页 |
·压电式能量采集器的前端结构 | 第28-30页 |
·压电式能量采集器的电路部分 | 第30-32页 |
·本章小结 | 第32-33页 |
3 基于压电双晶片的压电式能量采集器研究 | 第33-43页 |
·压电式能量采集器的结构模型 | 第33-35页 |
·压电式能量采集器的性能测试 | 第35-41页 |
·压电式能量采集器的振动阻尼测试 | 第35-37页 |
·压电式能量采集器的静态磁场排斥力测试 | 第37-38页 |
·压电式能量采集器的仿真分析 | 第38页 |
·压电式能量采集器的输出特性 | 第38-41页 |
·本章小结 | 第41-43页 |
4 压电式MEMS能量采集器研究 | 第43-56页 |
·压电式MEMS能量采集器的设计 | 第43-46页 |
·压电式MEMS能量采集器的结构模型 | 第43-45页 |
·压电式MEMS能量采集器的固有频率分析 | 第45-46页 |
·压电式MEMS能量采集器的加工工艺 | 第46-49页 |
·二氧化硅薄膜的制备 | 第46-47页 |
·压电微悬臂梁的制作工艺 | 第47-49页 |
·压电式MEMS能量采集器的性能测试 | 第49-55页 |
·PZT薄膜的介电常数和介质损耗 | 第49-50页 |
·PZT薄膜的漏电流特性 | 第50-51页 |
·压电式MEMS能量采集器的静态磁场微排斥力测试 | 第51页 |
·压电式MEMS能量采集器的仿真分析 | 第51-53页 |
·压电式MEMS能量采集器的输出特性测试 | 第53-55页 |
·本章小结 | 第55-56页 |
结论 | 第56-57页 |
参考文献 | 第57-62页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
致谢 | 第63-64页 |