微流控芯片中功能化器件的制备研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第1章 绪论	第10-17页
·微流控芯片的发展	第10-11页
·微流控芯片材料	第11-12页
·微流控芯片的制作技术	第12-14页
·飞秒激光加工技术优势	第14-15页
·研究意义及实验设计	第15-17页
第2章 湿法腐蚀制作玻璃微流控芯片	第17-30页
·湿法腐蚀制作玻璃微流控芯片实验流程	第17-18页
·微流控芯片制作的前期准备实验	第18-19页
·玻璃基片预处理	第18页
·蒸镀金属保护层	第18-19页
·玻璃基底保护层图案化	第19-25页
·微流控芯片的腐蚀	第25-29页
·湿法腐蚀配方对微流控芯片形貌的影响	第25-27页
·金属保护层退火对微流控芯片形貌的影响	第27-29页
·小结	第29-30页
第3章 飞秒激光微纳加工制备微流控芯片功能化器件	第30-49页
·飞秒激光微纳加工基本原理	第30-35页
·飞秒激光双光子聚合过程基本原理	第30-32页
·构建飞秒激光加工系统	第32-35页
·制备微流控芯片中功能化器件	第35-41页
·微流控芯片中功能化器件的模型设计	第35-36页
·微流控芯片中功能化器件的制备流程	第36-37页
·制备微流控芯片中功能化器件实验参数优化与分析	第37-41页
·微流控芯片功能化器件的封装	第41-43页
·微流控芯片功能化器件的功能测试	第43-49页
·微流控芯片功能化器件测试样品配置	第43页
·微流控芯片功能化器件测试样品引入	第43-44页
·微流控芯片功能化器件测试实验	第44-48页
·小结	第48-49页
第4章 结论	第49-50页
参考文献	第50-53页
作者简介及科研成果	第53-54页
致谢	第54页