| 内容提要 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| ·硅材料中电光效应概述 | 第12-13页 |
| ·硅基电光调制器的发展状况 | 第13-17页 |
| ·本论文的主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 硅材料中场致线性电光效应和等离子色散效应的研究 | 第19-35页 |
| ·场致线性电光效应的基本理论 | 第19-23页 |
| ·等离子色散效应的理论分析 | 第23-27页 |
| ·场致线性电光效应和等离子色散效应的实验测量和区分 | 第27-35页 |
| ·样品结构 | 第27-28页 |
| ·实验光路分析 | 第28-32页 |
| ·实验结果与分析 | 第32-35页 |
| 第三章 MZ 干涉结构硅基电光调制器光学结构的设计与模拟 | 第35-51页 |
| ·MZ 干涉型调制器及其基本原理 | 第35-38页 |
| ·SOI 衬底上脊型波导结构的分析与设计 | 第38-44页 |
| ·单模传输条件 | 第39-40页 |
| ·脊型波导的有效折射率法 | 第40-42页 |
| ·脊型波导的设计与模拟结果 | 第42-44页 |
| ·基于 BPM 法的调制器的设计与模拟 | 第44-51页 |
| ·光束传播法基本理论 | 第44-45页 |
| ·MZ 结构调制器的设计与模拟 | 第45-48页 |
| ·MMI 结构调制器的初步设计 | 第48-51页 |
| 第四章 硅基电光调制器的制作与初步测试 | 第51-63页 |
| ·硅基电光调制器的制作 | 第51-55页 |
| ·版图设计 | 第51-53页 |
| ·制作工艺流程 | 第53-55页 |
| ·硅基电光调制器的初步测试 | 第55-63页 |
| ·电光调制器的性能参数 | 第55-56页 |
| ·光学参数的测试 | 第56-57页 |
| ·电学参数的测试 | 第57-63页 |
| 总结 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 作者简介及科研成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
