大功率射频负离子源等离子体激发与检测技术研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第12-29页 |
| 1.1 课题来源及背景 | 第12-15页 |
| 1.2 大功率射频负离子源工作原理 | 第15-16页 |
| 1.3 大功率射频负离子源研究现状 | 第16-21页 |
| 1.4 HUST射频负离子源激励器实验装置 | 第21-23页 |
| 1.5 射频等离子体激发、检测技术的研究意义 | 第23-25页 |
| 1.6 本文的研究内容及创新点 | 第25-29页 |
| 2 射频等离子体功率耦合特性分析 | 第29-49页 |
| 2.1 引言 | 第29-30页 |
| 2.2 等离子体射频功率耦合与基本特征量 | 第30-34页 |
| 2.3 射频功率耦合解析模型 | 第34-38页 |
| 2.4 有限元模型 | 第38-39页 |
| 2.5 两种模型对比 | 第39-42页 |
| 2.6 工作参数对功率耦合效率的影响 | 第42-44页 |
| 2.7 法拉第屏蔽的作用 | 第44-47页 |
| 2.8 本章小结 | 第47-49页 |
| 3 在线射频阻抗匹配研究 | 第49-76页 |
| 3.1 引言 | 第49-50页 |
| 3.2 阻抗匹配电路 | 第50-52页 |
| 3.3 匹配参数与匹配状态 | 第52-54页 |
| 3.4 在线阻抗匹配策略 | 第54-61页 |
| 3.5 自适应匹配问题建模 | 第61-63页 |
| 3.6 常规自适应匹配算法 | 第63-66页 |
| 3.7 改良自适应匹配算法 | 第66-74页 |
| 3.8 本章小结 | 第74-76页 |
| 4 射频功率与阻抗在线检测 | 第76-98页 |
| 4.1 引言 | 第76-77页 |
| 4.2 系统总体方案 | 第77-78页 |
| 4.3 PCB型罗氏线圈电流互感器 | 第78-88页 |
| 4.4 电容分压器 | 第88-89页 |
| 4.5 信号处理和数据采集单元 | 第89-92页 |
| 4.6 系统实现、调试与实验 | 第92-96页 |
| 4.7 本章小结 | 第96-98页 |
| 5 射频等离子体朗缪尔探针诊断 | 第98-123页 |
| 5.1 引言 | 第98-99页 |
| 5.2 朗缪尔探针基本理论 | 第99-105页 |
| 5.3 探针传感头结构设计 | 第105-107页 |
| 5.4 射频补偿滤波器 | 第107-109页 |
| 5.5 电控单元 | 第109-112页 |
| 5.6 数据处理 | 第112-116页 |
| 5.7 系统实现、分析与讨论 | 第116-122页 |
| 5.8 本章小结 | 第122-123页 |
| 6 控制系统设计与实现 | 第123-140页 |
| 6.1 引言 | 第123-124页 |
| 6.2 控制系统任务需求 | 第124-125页 |
| 6.3 系统总体架构设计 | 第125-131页 |
| 6.4 控制策略与具体方案 | 第131-138页 |
| 6.5 系统实现 | 第138-139页 |
| 6.6 本章小结 | 第139-140页 |
| 7 实验与测试 | 第140-150页 |
| 7.1 概述 | 第140页 |
| 7.2 功率和气压检测 | 第140-142页 |
| 7.3 等离子体诊断实验 | 第142-146页 |
| 7.4 高压电源调试 | 第146-149页 |
| 7.5 本章小结 | 第149-150页 |
| 8 总结与展望 | 第150-154页 |
| 8.1 论文总结 | 第150-152页 |
| 8.2 未来工作展望 | 第152-154页 |
| 致谢 | 第154-156页 |
| 参考文献 | 第156-167页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的主要论文 | 第167页 |
