| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 CIGS太阳电池研究背景 | 第8页 |
| 1.2 CIGS太阳电池发展现状 | 第8-10页 |
| 1.3 溅射后硒化制备CIGS太阳电池发展面临的主要问题 | 第10-12页 |
| 1.4 本文主要研究内容和组织结构 | 第12-14页 |
| 2 CIGS薄膜太阳电池制备工艺和表征方法 | 第14-27页 |
| 2.1 CIGS薄膜太阳电池的制备工艺 | 第14-20页 |
| 2.1.1 背电极Mo制备工艺 | 第14-15页 |
| 2.1.2 CIGS薄膜中预制层的制备工艺条件 | 第15-16页 |
| 2.1.3 硒化工艺条件 | 第16-18页 |
| 2.1.4 CdS薄膜制备工艺 | 第18-19页 |
| 2.1.5 本征ZnO(i-ZnO)/AZO(ZnO：Al)窗口层制备工艺 | 第19-20页 |
| 2.1.6 电子束蒸发设备制备Ni/Al电极 | 第20页 |
| 2.2 薄膜材料及器件的基本表征方法 | 第20-25页 |
| 2.2.1 测量薄膜厚度的台阶仪 | 第21页 |
| 2.2.2 X射线衍射仪(XRD) | 第21-22页 |
| 2.2.3 拉曼光谱仪(Raman) | 第22页 |
| 2.2.4 扫描电子显微镜(SEM) | 第22-23页 |
| 2.2.5 能谱仪(EDS)成分测试 | 第23页 |
| 2.2.6 I-V曲线测试 | 第23-24页 |
| 2.2.7 外量子效率测试(EQE) | 第24-25页 |
| 2.2.8 开尔文探针显微镜(KPFM)测试 | 第25页 |
| 2.2.9 一维太阳电池模拟软件(SCAPS) | 第25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-27页 |
| 3 预制层结构对薄膜生长机制和薄膜性能的影响 | 第27-60页 |
| 3.1 Cu_(0.75)Ga_(0.25)-In 预制层的结构与形貌 | 第28-31页 |
| 3.2 预制层结构对CIGS形貌和物相的影响 | 第31-37页 |
| 3.3 预制层结构对元素扩散的影响 | 第37-43页 |
| 3.4 预制层结构对电池器件性能的影响 | 第43-55页 |
| 3.4.1 OVC现象对CIGS光伏性能的影响 | 第43-49页 |
| 3.4.2 OVC相是如何影响器件中载流子传输和器件性能 | 第49-55页 |
| 3.5 CIGS电池仿真与优化 | 第55-58页 |
| 3.6 本章小结 | 第58-60页 |
| 4 总结与展望 | 第60-62页 |
| 4.1 本文总结 | 第60-61页 |
| 4.2 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
