| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-25页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 研究背景与意义 | 第8-9页 |
| 1.3 柔性电子发展概况 | 第9-15页 |
| 1.4 柔性无机电子加工工艺 | 第15-23页 |
| 1.5 本文研究目的和主要内容 | 第23-25页 |
| 2 实验材料及设备 | 第25-33页 |
| 2.1 激光图案化技术原理及实验样本的制备 | 第25-27页 |
| 2.2 PDMS改性的基本原理及样本的制备 | 第27-30页 |
| 2.3 能量释放率检测样本的制备及能量释放率检测装置的制作 | 第30-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 基于激光图案化和选择性转印的柔性电子加工工艺 | 第33-45页 |
| 3.1 工艺流程 | 第33-34页 |
| 3.2 激光图案化技术性能检测 | 第34-36页 |
| 3.3 能量释放率的精确调控 | 第36-38页 |
| 3.4 选择性转印技术及其机理研究 | 第38-42页 |
| 3.5 基于激光图案化和选择性转印的工艺与传统工艺的比较 | 第42-43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-45页 |
| 4 柔性电子器件的设计与制作 | 第45-53页 |
| 4.1 互连导线 | 第45-47页 |
| 4.2 表皮电子系统 | 第47-51页 |
| 4.3 触觉系统 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 总结与展望 | 第53-55页 |
| 5.1 全文总结 | 第53-54页 |
| 5.2 全文展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间研究成果 | 第60页 |