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基于激光图案化和选择性转印的柔性电子加工工艺研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
1 绪论第8-25页
    1.1 课题来源第8页
    1.2 研究背景与意义第8-9页
    1.3 柔性电子发展概况第9-15页
    1.4 柔性无机电子加工工艺第15-23页
    1.5 本文研究目的和主要内容第23-25页
2 实验材料及设备第25-33页
    2.1 激光图案化技术原理及实验样本的制备第25-27页
    2.2 PDMS改性的基本原理及样本的制备第27-30页
    2.3 能量释放率检测样本的制备及能量释放率检测装置的制作第30-32页
    2.4 本章小结第32-33页
3 基于激光图案化和选择性转印的柔性电子加工工艺第33-45页
    3.1 工艺流程第33-34页
    3.2 激光图案化技术性能检测第34-36页
    3.3 能量释放率的精确调控第36-38页
    3.4 选择性转印技术及其机理研究第38-42页
    3.5 基于激光图案化和选择性转印的工艺与传统工艺的比较第42-43页
    3.6 本章小结第43-45页
4 柔性电子器件的设计与制作第45-53页
    4.1 互连导线第45-47页
    4.2 表皮电子系统第47-51页
    4.3 触觉系统第51-52页
    4.4 本章小结第52-53页
5 总结与展望第53-55页
    5.1 全文总结第53-54页
    5.2 全文展望第54-55页
致谢第55-56页
参考文献第56-60页
附录1 攻读硕士学位期间研究成果第60页

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