| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-12页 |
| 1.2 气浮台国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.3 研究综述 | 第15页 |
| 1.3 课题研究内容 | 第15-19页 |
| 1.3.1 课题的项目背景 | 第15-17页 |
| 1.3.2 本文的主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 气动重力补偿装置的系统建模 | 第19-28页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 气浮台垂向运动的原理 | 第19-21页 |
| 2.3 气动重力补偿装置调压机构的结构建模 | 第21-22页 |
| 2.4 参数辨识 | 第22-25页 |
| 2.4.1 BP 神经网络的辨识算法 | 第23页 |
| 2.4.2 调压机构驱动模型的辨识过程 | 第23-25页 |
| 2.5 气动重力补偿装置的重要参数计算 | 第25-27页 |
| 2.5.1 气动重力补偿装置提供的气体压力 | 第25-26页 |
| 2.5.2 气浮台 Z 向运动速度 | 第26-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 气浮台垂向运动的压力调节研究 | 第28-44页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 压力调节的控制方法研究 | 第28-32页 |
| 3.2.1 静态负载重力的压力粗调 | 第28-30页 |
| 3.2.2 静态负载重力的压力精调 | 第30-32页 |
| 3.3 压力调节的跟踪特性研究 | 第32-42页 |
| 3.3.1 压力闭环控制的特点 | 第32页 |
| 3.3.2 Smith 预测控制 | 第32-38页 |
| 3.3.3 一种基于内模 PID 的鲁棒设计方法 | 第38-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 气浮台垂向运动控制方法研究 | 第44-61页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 喷气系统执行机构的工作方式 | 第44-50页 |
| 4.2.1 PWPF 调节器关键参数的分析 | 第45-46页 |
| 4.2.2 PWPF 不同工作区的特性讨论 | 第46-49页 |
| 4.2.3 PWPF 调节器的仿真 | 第49-50页 |
| 4.3 气浮台长行程的时间最优控制方法 | 第50-54页 |
| 4.3.1 时间最优控制的极小值解法 | 第51-52页 |
| 4.3.2 气浮台时间最优控制律的设计 | 第52-54页 |
| 4.4 高精度位移控制方法研究 | 第54-59页 |
| 4.4.1 基于 MIT 方案的控制律设计 | 第54-56页 |
| 4.4.2 MIT 方案与重复补偿控制 PID 调节器结合的控制方案设计 | 第56-58页 |
| 4.4.3 带 PWPF 的 MIT 方案的控制方案仿真 | 第58-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 气动重力补偿装置的设计与测试 | 第61-79页 |
| 5.1 引言 | 第61-62页 |
| 5.2 硬件系统设计 | 第62-66页 |
| 5.2.1 传感器 | 第62-63页 |
| 5.2.2 信号采集与转换卡 | 第63-64页 |
| 5.2.3 无线通讯模块 | 第64-65页 |
| 5.2.4 工业控制计算机 | 第65-66页 |
| 5.3 软件设计 | 第66-77页 |
| 5.3.1 软件开发平台的选择 | 第66-67页 |
| 5.3.2 控制计算机和上位机软件总体设计 | 第67-68页 |
| 5.3.3 RTX 环境下的底层驱动程序设计 | 第68-71页 |
| 5.3.4 工控机控制程序设计 | 第71-75页 |
| 5.3.5 上位机界面设计 | 第75-77页 |
| 5.4 压力调节实验 | 第77-78页 |
| 5.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 结论 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-85页 |
| 致谢 | 第85页 |