| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-30页 |
| 1.1 气敏传感器概述 | 第10-15页 |
| 1.1.1 气敏传感器性能评价 | 第10-11页 |
| 1.1.2 气敏传感器的分类 | 第11-13页 |
| 1.1.3 几种常见的气敏机理模型 | 第13-14页 |
| 1.1.4 气敏传感器的应用 | 第14-15页 |
| 1.2 半导体气敏传感器 | 第15-17页 |
| 1.2.1 半导体气敏传感器的分类 | 第15-16页 |
| 1.2.2 半导体气敏元件的结构 | 第16-17页 |
| 1.3 纳米材料 | 第17-21页 |
| 1.3.1 纳米材料的特性 | 第18-19页 |
| 1.3.2 纳米材料制备方法 | 第19-21页 |
| 1.4 半导体金属氧化物气敏材料 | 第21-27页 |
| 1.4.1 几种常见的半导体金属氧化物气敏材料 | 第21-22页 |
| 1.4.2 气敏传感器的气敏性能改性研究 | 第22-27页 |
| 1.5 气敏传感器的发展趋势 | 第27-29页 |
| 1.6 本论文的主要工作和章节安排 | 第29-30页 |
| 1.6.1 本论文的主要工作 | 第29页 |
| 1.6.2 本论文的章节安排 | 第29-30页 |
| 第2章 二氧化锡空心纳米球的水热合成及气敏性能检测 | 第30-50页 |
| 引言 | 第30-31页 |
| 2.1 实验材料和实验仪器 | 第31-32页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第31页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第31-32页 |
| 2.2 样品的表征及测试 | 第32-33页 |
| 2.3 钯掺杂二氧化锡空心纳米球的制备 | 第33-35页 |
| 2.4 材料的表征与讨论 | 第35-41页 |
| 2.4.1 SiO_2的SEM表征 | 第35-36页 |
| 2.4.2 SiO_2空心纳米球的TEM表征 | 第36-38页 |
| 2.4.3 材料的XRD表征 | 第38-39页 |
| 2.4.4 钯掺杂SiO_2材料的TEM、EDS、XPS表征 | 第39-41页 |
| 2.5 材料的气敏性能测试 | 第41-48页 |
| 2.5.1 气敏元件制作方法 | 第41页 |
| 2.5.2 气敏性能检测 | 第41-48页 |
| 2.6 本章小结 | 第48-50页 |
| 第3章 Au掺杂二氧化锡空心纳米球的制备及其气敏性能研究 | 第50-58页 |
| 引言 | 第50页 |
| 3.1 Au/SiO_2空心纳米球的制备与表征 | 第50-53页 |
| 3.1.1 材料的制备 | 第50-51页 |
| 3.1.2 材料的表征及结果讨论 | 第51-53页 |
| 3.2 Au/SiO_2空心纳米球气敏性能检测 | 第53-56页 |
| 3.2.1 Au/SiO_2空心纳米球对乙醇响应的最佳工作温度 | 第53-54页 |
| 3.2.2 Au/SiO_2空心纳米球对不同浓度乙醇的响应 | 第54-55页 |
| 3.2.3 Au/SiO_2简单气敏选择性研究 | 第55-56页 |
| 3.3 气敏结果讨论 | 第56-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 全文总结 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-72页 |
| 攻读硕士期间发表论文情况 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
