| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第8页 |
| 1.2 常见的微结构表面形貌测量方法 | 第8-12页 |
| 1.2.1 探针轮廓法 | 第8-9页 |
| 1.2.2 扫描探针显微镜法 | 第9页 |
| 1.2.3 扫描电子显微镜法 | 第9页 |
| 1.2.4 共焦显微法 | 第9-10页 |
| 1.2.5 显微干涉法 | 第10-12页 |
| 1.3 微结构表面形貌测量方法的比较 | 第12-13页 |
| 1.4 基于白光干涉彩色图像测量技术的相关研究 | 第13-14页 |
| 1.5 课题的提出和论文的主要工作 | 第14-15页 |
| 第二章 RGB 相位交叉法及其仿真分析 | 第15-33页 |
| 2.1 连续小波变换 | 第15-17页 |
| 2.2 RGB 相位交叉法的测量原理 | 第17-21页 |
| 2.3 RGB 相位交叉法的仿真分析 | 第21-32页 |
| 2.3.1 理想情况 | 第21-24页 |
| 2.3.2 通道存在频率混叠情况 | 第24-28页 |
| 2.3.3 图像存在噪声情况 | 第28-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 多波长 RGB 相移干涉法及其仿真分析 | 第33-49页 |
| 3.1 多波长 RGB 相移干涉法的测量原理 | 第33-35页 |
| 3.1.1 等效波长法 | 第34页 |
| 3.1.2 斜率法 | 第34-35页 |
| 3.1.3 条纹级次法 | 第35页 |
| 3.2 相位提取算法 | 第35-41页 |
| 3.2.1 Carré相移法 | 第35-36页 |
| 3.2.2 五步相移法 | 第36页 |
| 3.2.3 七步相移法 | 第36页 |
| 3.2.4 八步相移法 | 第36-37页 |
| 3.2.5 相位提取算法求解精度的比较 | 第37-41页 |
| 3.3 多波长 RGB 相移干涉法的仿真分析 | 第41-48页 |
| 3.3.1 理想情况 | 第41-43页 |
| 3.3.2 通道存在频率混叠情况 | 第43-46页 |
| 3.3.3 图像存在噪声情况 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 测试系统构建与实验结果分析 | 第49-67页 |
| 4.1 测试系统 | 第49-55页 |
| 4.1.1 成像模块 | 第50-53页 |
| 4.1.2 扫描模块 | 第53页 |
| 4.1.3 图像采集模块 | 第53-54页 |
| 4.1.4 程序模块 | 第54-55页 |
| 4.2 实验结果与分析 | 第55-66页 |
| 4.2.1 RGB 相位交叉法的实验结果与分析 | 第55-61页 |
| 4.2.2 多波长 RGB 相移干涉法的实验结果与分析 | 第61-66页 |
| 4.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |