| 致谢 | 第6-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 符号清单 | 第13-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-27页 |
| 1.1 引言 | 第17页 |
| 1.2 铜箔 | 第17-22页 |
| 1.2.1 铜箔的基本简介 | 第17页 |
| 1.2.2 铜箔的分类 | 第17-18页 |
| 1.2.3 电解铜箔 | 第18-19页 |
| 1.2.4 载体超薄铜箔 | 第19-22页 |
| 1.3 剥离层类型 | 第22-23页 |
| 1.3.1 有机物剥离层 | 第22页 |
| 1.3.2 无机物剥离层 | 第22-23页 |
| 1.3.3 无机物和有机物复合剥离层 | 第23页 |
| 1.4 本文选作剥离层的三种有机物简介 | 第23-25页 |
| 1.4.1 苯并三氮唑 | 第23-24页 |
| 1.4.2 噻唑类化合物 | 第24-25页 |
| 1.4.3 植酸 | 第25页 |
| 1.5 本论文研究的意义、目标及内容 | 第25-27页 |
| 第二章 以BTA为剥离层的超薄铜箔制备 | 第27-39页 |
| 2.1 引言 | 第27页 |
| 2.2 实验部分 | 第27-30页 |
| 2.2.1 实验仪器与试剂 | 第27-28页 |
| 2.2.2 溶液的配制 | 第28页 |
| 2.2.3 载体铜箔电极的制备 | 第28-29页 |
| 2.2.4 铜棒电极的制备 | 第29页 |
| 2.2.5 实验仪器和实验步骤 | 第29-30页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第30-38页 |
| 2.3.1 电流密度对超薄铜箔沉积的影响 | 第30-31页 |
| 2.3.2 温度对超薄铜箔沉积的影响 | 第31-32页 |
| 2.3.3 沉积时间对铜箔厚度和均匀度的影响 | 第32-34页 |
| 2.3.4 铜在含不同浓度BTA的溶液中的Tafel曲线 | 第34-35页 |
| 2.3.5 铜在含不同浓度BTA的溶液中的Nyquist曲线 | 第35-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 以MAT为剥离层的超薄铜箔制备 | 第39-55页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 实验部分 | 第39-41页 |
| 3.2.1 实验仪器与试剂 | 第39-40页 |
| 3.2.2 溶液的配制 | 第40页 |
| 3.2.3 载体铜箔电极及铜棒电极的制备 | 第40页 |
| 3.2.4 实验仪器和实验步骤 | 第40-41页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第41-53页 |
| 3.3.1 MAT浓度及吸附时间的选择 | 第41-42页 |
| 3.3.2 电流密度对超薄铜箔沉积的影响 | 第42-44页 |
| 3.3.3 温度对超薄铜箔沉积的影响 | 第44-46页 |
| 3.3.4 沉积时间对铜箔厚度和均匀度的影响 | 第46-48页 |
| 3.3.5 MAT剥离层上铜箔的恒电流阳极溶解特征 | 第48-49页 |
| 3.3.6 超薄铜箔的形貌表征 | 第49-50页 |
| 3.3.7 铜在含不同浓度MAT的溶液中的Tafel曲线 | 第50-52页 |
| 3.3.8 铜在含不同浓度MAT的溶液中的Nyquist曲线 | 第52-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 以MAT/植酸混合体系为剥离层的超薄铜箔制备 | 第55-70页 |
| 4.1 引言 | 第55页 |
| 4.2 实验部分 | 第55-57页 |
| 4.2.1 实验仪器与试剂 | 第55-56页 |
| 4.2.2 溶液的配制 | 第56页 |
| 4.2.3 载体铜箔电极及铜棒电极的制备 | 第56页 |
| 4.2.4 实验仪器和实验步骤 | 第56-57页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第57-68页 |
| 4.3.1 MAT与植酸相对含量的优化 | 第57-58页 |
| 4.3.2 电流密度对超薄铜箔沉积的影响 | 第58-60页 |
| 4.3.3 温度对超薄铜箔沉积的影响 | 第60-61页 |
| 4.3.4 沉积时间对铜箔厚度和均匀度的影响 | 第61-62页 |
| 4.3.5 不同电流密度下得到的超薄铜箔表面形貌表征 | 第62-64页 |
| 4.3.6 不同沉积时间下得到的超薄铜箔表面形貌表征 | 第64-65页 |
| 4.3.7 铜在含不同浓度MAT和植酸的混合液中的Tafel曲线 | 第65-66页 |
| 4.3.8 铜在含不同浓度MAT和植酸的混合液中的Nyquist曲线 | 第66-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 全文总结 | 第70-73页 |
| 参考文献 | 第73-80页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第80-81页 |
