| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题概述 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 需求分析与技术方案 | 第15-42页 |
| 2.1 引言 | 第15-17页 |
| 2.2 高速LED芯片分选装备高频运动系统定位性能综合分析 | 第17-19页 |
| 2.3 高速LED芯片分选装备高频运动系统功能部件分解 | 第19-27页 |
| 2.4 高速LED芯片分选装备高频运动系统柔性加减速技术方案 | 第27-40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 3 移动工作台高频运动系统柔性加减速规律设计 | 第42-64页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 移动工作台高频运动系统特征分析 | 第42-56页 |
| 3.3 移动工作台高频运动系统驱动系统控制模型 | 第56-61页 |
| 3.4 移动工作台高频运动系统柔性加减速规律设计 | 第61-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 4 摆臂直驱高频运动系统柔性加减速规律设计 | 第64-73页 |
| 4.1 引言 | 第64-66页 |
| 4.2 摆臂直驱高频运动系统特征分析 | 第66-70页 |
| 4.3 摆臂直驱高频运动系统驱动系统控制模型 | 第70-72页 |
| 4.4 摆臂直驱高频运动系统柔性加减速规律设计 | 第72页 |
| 4.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 5 高频运动系统柔性加减速规律实验验证 | 第73-88页 |
| 5.1 引言 | 第73页 |
| 5.2 移动工作台高频运动系统柔性加减速规律实验验证 | 第73-79页 |
| 5.3 摆臂直驱高频运动系统柔性加减速规律实验验证 | 第79-82页 |
| 5.4 高频运动系统柔性加减速规律综合实验验证 | 第82-87页 |
| 5.5 本章小结 | 第87-88页 |
| 6 总结与展望 | 第88-90页 |
| 6.1 研究总结 | 第88页 |
| 6.2 研究展望 | 第88-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-93页 |
