| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题概述 | 第9-10页 |
| 1.2 LED设备中微位移工作台的研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 LED设备中微运动工作台功能需求分析 | 第15-21页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 微位移工作台的基本结构 | 第15页 |
| 2.3 LED芯片检测设备微位移工作台功能需求分析 | 第15-16页 |
| 2.4 LED芯片分选设备微位移工作台功能需求分析 | 第16-20页 |
| 2.5 本章小结 | 第20-21页 |
| 3 LED设备电机驱动机械传动式微位移工作台结构设计与实验研究 | 第21-34页 |
| 3.1 引言 | 第21页 |
| 3.2 LED检测机微位移工作台结构设计与实验研究 | 第21-24页 |
| 3.3 LED分选机微位移工作台结构设计与实验研究 | 第24-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 LED设备中压电陶瓷驱动式微位移工作台结构设计与特性分析 | 第34-69页 |
| 4.1 引言 | 第34页 |
| 4.2 压电陶瓷致动器的基本类型 | 第34-35页 |
| 4.3 基于压电陶瓷的微位移工作台在LED检测机的应用研究 | 第35-52页 |
| 4.4 基于压电陶瓷的微位移工作台在LED分选机的应用研究 | 第52-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 总结与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 研究内容总结 | 第69-70页 |
| 5.2 研究展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
