| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-23页 |
| 1.2.1 实验表征 | 第10-16页 |
| 1.2.2 理论研究 | 第16-21页 |
| 1.2.3 界面热阻实验和理论研究结果分析 | 第21-23页 |
| 1.3 研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 3ω 法基本原理及实验系统 | 第25-31页 |
| 2.1 基本原理 | 第25-29页 |
| 2.2 实验系统 | 第29-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 频率-电流扫描 3ω 法表征纳米薄膜界面热阻 | 第31-43页 |
| 3.1 测量原理 | 第31-34页 |
| 3.1.1 电流扫描 3ω 法及热阻抗求差 | 第31-32页 |
| 3.1.2 频率扫描 3ω 法及热阻抗网络 | 第32-34页 |
| 3.2 SiO_2/ZrO_2/Nd:YAG界面热阻测量 | 第34-38页 |
| 3.3 SiO_2/GaN/Al_2O_3界面热阻测量 | 第38-42页 |
| 3.4 不确定度分析 | 第42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 宽频 3ω 法测量纳米薄膜界面热阻 | 第43-65页 |
| 4.1 测量原理 | 第43-48页 |
| 4.2 金刚石薄膜自身热阻和界面热阻测量 | 第48-56页 |
| 4.2.1 金刚石薄膜应用背景 | 第48-49页 |
| 4.2.2 DLC/CNT/Si样品制备和实验 | 第49-52页 |
| 4.2.3 结果分析 | 第52-56页 |
| 4.3 多探测器测量超薄纳米膜界面热阻 | 第56-64页 |
| 4.3.1 氧化铪薄膜应用背景 | 第56-57页 |
| 4.3.2 超薄氧化铪样品制备和实验 | 第57-60页 |
| 4.3.3 结果分析 | 第60-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 界面热输运的声子动力学研究 | 第65-83页 |
| 5.1 声子输运理论 | 第65-70页 |
| 5.2 声子界面散射与界面声子热输运 | 第70-73页 |
| 5.2.1 声子弹性散射模型 | 第70-72页 |
| 5.2.2 非弹性散射模型 | 第72-73页 |
| 5.3 理论模型改进 | 第73-77页 |
| 5.3.1 声子动力学参数 | 第73-74页 |
| 5.3.2 声子透射系数和界面热导的声子热力模型 | 第74-75页 |
| 5.3.3 声子弹性和非弹性散射的贡献 | 第75页 |
| 5.3.4 考虑界面粗糙度的非弹性散射模型 | 第75-77页 |
| 5.4 结果与分析 | 第77-81页 |
| 5.5 本章小结 | 第81-83页 |
| 第六章 结论与展望 | 第83-86页 |
| 6.1 结论 | 第83-84页 |
| 6.2 创新点 | 第84页 |
| 6.3 展望 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-95页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第95-96页 |
| 致谢 | 第96页 |
