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硼掺杂金刚石薄膜涂层工具的制备和试验研究

摘要第2-4页
Abstract第4-5页
第一章 绪论第9-30页
    1.1 引言第9页
    1.2 金刚石的特性及应用概况第9-14页
        1.2.1 金刚石的晶体结构和形态第9-11页
        1.2.2 金刚石的分类第11页
        1.2.3 金刚石的性质和应用第11-14页
    1.3 金刚石膜的制备方法和机理第14-17页
        1.3.1 金刚石膜的制备方法第14-15页
        1.3.2 CVD 金刚石膜的生长机理第15-17页
    1.4 掺杂金刚石膜的研究进展和应用现状第17-22页
        1.4.1 n 型金刚石掺杂第17-19页
        1.4.2 p 型金刚石掺杂第19-20页
        1.4.3 硼掺杂金刚石膜的应用第20-22页
    1.5 CVD 金刚石膜涂层刀具的研究现状第22-26页
        1.5.1 刀具材料的发展状况第22-23页
        1.5.2 金刚石膜涂层刀具的研究进展第23-26页
    1.6 金刚石涂层拉拔模具的研究现状第26-28页
    1.7 论文的研究意义和主要研究内容第28-30页
        1.7.1 研究意义第28页
        1.7.2 研究的主要内容第28-30页
第二章 硼掺杂金刚石薄膜的制备原理和表征第30-46页
    2.1 引言第30页
    2.2 硼掺杂金刚石薄膜的制备第30-36页
        2.2.1 硼源的选择及掺硼方法第30-32页
        2.2.2 薄膜的制备原理第32页
        2.2.3 薄膜的制备工艺第32-36页
    2.3 硼掺杂金刚石薄膜的表征第36-45页
        2.3.1 薄膜的表征方法第36页
        2.3.2 薄膜的SEM 形貌分析第36-38页
        2.3.3 薄膜的Raman 分析第38-41页
        2.3.4 薄膜的XRD 分析第41-42页
        2.3.5 薄膜的均匀性分析第42-44页
        2.3.6 薄膜的导电性分析第44-45页
    2.4 本章小结第45-46页
第三章 硼掺杂金刚石薄膜涂层刀具的制备和试验研究第46-65页
    3.1 引言第46-47页
    3.2 硼掺杂金刚石涂层刀具的制备与表征第47-61页
        3.2.1 试验方法第47-48页
        3.2.2 预处理对衬底表面的影响第48-50页
        3.2.3 硼浓度对金刚石形核的影响第50-54页
        3.2.4 金刚石表面形貌及粗糙度分析第54-57页
        3.2.5 金刚石薄膜质量分析第57-59页
        3.2.6 金刚石涂层的附着力分析第59-61页
    3.3 金刚石涂层刀具的切削试验研究第61-63页
        3.3.1 试验条件第62页
        3.3.2 试验结果与分析第62-63页
    3.4 本章小结第63-65页
第四章 复杂形状硼掺杂金刚石涂层刀具的制备和试验研究第65-84页
    4.1 引言第65页
    4.2 硼掺杂金刚石涂层钻头的制备第65-72页
        4.2.1 试验条件和预处理方法第65-67页
        4.2.2 薄膜表面形貌及粗糙度分析第67-70页
        4.2.3 涂层质量分析第70-72页
    4.3 金刚石涂层钻头的切削试验第72-82页
        4.3.1 试验原理及方法第72页
        4.3.2 钻削试验结果及分析第72-82页
    4.4 本章小结第82-84页
第五章 硼掺杂金刚石薄膜涂层拉拔模具的制备和应用第84-96页
    5.1 引言第84-85页
    5.2 硼掺杂金刚石涂层铜管拉拔模具的制备第85-93页
        5.2.1 涂层的制备方法和工艺第85-90页
        5.2.2 涂层的结构和性能检测第90-93页
    5.3 金刚石涂层铜管拉拔模具的应用第93-95页
    5.4 本章小结第95-96页
第六章 结论和展望第96-99页
    6.1 本文工作总结第96-97页
    6.2 本文的主要创新点第97页
    6.3 后续研究工作及金刚石应用展望第97-99页
参考文献第99-107页
致谢第107-108页
攻读学位期间公开发表的论文第108-110页

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