摘要 | 第2-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
第一章 绪论 | 第9-30页 |
1.1 引言 | 第9页 |
1.2 金刚石的特性及应用概况 | 第9-14页 |
1.2.1 金刚石的晶体结构和形态 | 第9-11页 |
1.2.2 金刚石的分类 | 第11页 |
1.2.3 金刚石的性质和应用 | 第11-14页 |
1.3 金刚石膜的制备方法和机理 | 第14-17页 |
1.3.1 金刚石膜的制备方法 | 第14-15页 |
1.3.2 CVD 金刚石膜的生长机理 | 第15-17页 |
1.4 掺杂金刚石膜的研究进展和应用现状 | 第17-22页 |
1.4.1 n 型金刚石掺杂 | 第17-19页 |
1.4.2 p 型金刚石掺杂 | 第19-20页 |
1.4.3 硼掺杂金刚石膜的应用 | 第20-22页 |
1.5 CVD 金刚石膜涂层刀具的研究现状 | 第22-26页 |
1.5.1 刀具材料的发展状况 | 第22-23页 |
1.5.2 金刚石膜涂层刀具的研究进展 | 第23-26页 |
1.6 金刚石涂层拉拔模具的研究现状 | 第26-28页 |
1.7 论文的研究意义和主要研究内容 | 第28-30页 |
1.7.1 研究意义 | 第28页 |
1.7.2 研究的主要内容 | 第28-30页 |
第二章 硼掺杂金刚石薄膜的制备原理和表征 | 第30-46页 |
2.1 引言 | 第30页 |
2.2 硼掺杂金刚石薄膜的制备 | 第30-36页 |
2.2.1 硼源的选择及掺硼方法 | 第30-32页 |
2.2.2 薄膜的制备原理 | 第32页 |
2.2.3 薄膜的制备工艺 | 第32-36页 |
2.3 硼掺杂金刚石薄膜的表征 | 第36-45页 |
2.3.1 薄膜的表征方法 | 第36页 |
2.3.2 薄膜的SEM 形貌分析 | 第36-38页 |
2.3.3 薄膜的Raman 分析 | 第38-41页 |
2.3.4 薄膜的XRD 分析 | 第41-42页 |
2.3.5 薄膜的均匀性分析 | 第42-44页 |
2.3.6 薄膜的导电性分析 | 第44-45页 |
2.4 本章小结 | 第45-46页 |
第三章 硼掺杂金刚石薄膜涂层刀具的制备和试验研究 | 第46-65页 |
3.1 引言 | 第46-47页 |
3.2 硼掺杂金刚石涂层刀具的制备与表征 | 第47-61页 |
3.2.1 试验方法 | 第47-48页 |
3.2.2 预处理对衬底表面的影响 | 第48-50页 |
3.2.3 硼浓度对金刚石形核的影响 | 第50-54页 |
3.2.4 金刚石表面形貌及粗糙度分析 | 第54-57页 |
3.2.5 金刚石薄膜质量分析 | 第57-59页 |
3.2.6 金刚石涂层的附着力分析 | 第59-61页 |
3.3 金刚石涂层刀具的切削试验研究 | 第61-63页 |
3.3.1 试验条件 | 第62页 |
3.3.2 试验结果与分析 | 第62-63页 |
3.4 本章小结 | 第63-65页 |
第四章 复杂形状硼掺杂金刚石涂层刀具的制备和试验研究 | 第65-84页 |
4.1 引言 | 第65页 |
4.2 硼掺杂金刚石涂层钻头的制备 | 第65-72页 |
4.2.1 试验条件和预处理方法 | 第65-67页 |
4.2.2 薄膜表面形貌及粗糙度分析 | 第67-70页 |
4.2.3 涂层质量分析 | 第70-72页 |
4.3 金刚石涂层钻头的切削试验 | 第72-82页 |
4.3.1 试验原理及方法 | 第72页 |
4.3.2 钻削试验结果及分析 | 第72-82页 |
4.4 本章小结 | 第82-84页 |
第五章 硼掺杂金刚石薄膜涂层拉拔模具的制备和应用 | 第84-96页 |
5.1 引言 | 第84-85页 |
5.2 硼掺杂金刚石涂层铜管拉拔模具的制备 | 第85-93页 |
5.2.1 涂层的制备方法和工艺 | 第85-90页 |
5.2.2 涂层的结构和性能检测 | 第90-93页 |
5.3 金刚石涂层铜管拉拔模具的应用 | 第93-95页 |
5.4 本章小结 | 第95-96页 |
第六章 结论和展望 | 第96-99页 |
6.1 本文工作总结 | 第96-97页 |
6.2 本文的主要创新点 | 第97页 |
6.3 后续研究工作及金刚石应用展望 | 第97-99页 |
参考文献 | 第99-107页 |
致谢 | 第107-108页 |
攻读学位期间公开发表的论文 | 第108-110页 |