基于SPR技术的聚酰亚胺湿敏特性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 湿敏传感器的发展 | 第11-13页 |
| 1.3 表面等离子体共振技术的发展 | 第13-15页 |
| 1.4 论文研究内容及论文结构 | 第15-16页 |
| 1.4.1 论文研究内容 | 第15页 |
| 1.4.2 论文结构 | 第15-16页 |
| 第二章 SPR湿度传感器结构及原理 | 第16-27页 |
| 2.1 聚酰亚胺介绍 | 第16页 |
| 2.2 湿度的表示方法 | 第16-18页 |
| 2.3 湿度传感器的性能要求 | 第18-19页 |
| 2.3.1 湿度量程 | 第18页 |
| 2.3.2 湿度传感器灵敏度 | 第18页 |
| 2.3.3 稳定性和漂移 | 第18-19页 |
| 2.3.4 可靠性 | 第19页 |
| 2.4 传感器的分类及结构 | 第19-22页 |
| 2.4.1 陶瓷类湿度传感器 | 第19-20页 |
| 2.4.2 高分子聚合物湿度传感器 | 第20-22页 |
| 2.5 表面等离子共振（SPR）原理 | 第22-26页 |
| 2.5.1 SPR传感器原理 | 第22-23页 |
| 2.5.2 SPR传感器调制方式 | 第23-24页 |
| 2.5.3 SPR传感器结构类型 | 第24-26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 表面粗糙度对金膜的SPR的影响测试 | 第27-32页 |
| 3.1 样品制备及表征 | 第27-29页 |
| 3.2 样品SPR测试及结论 | 第29-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 聚酰亚胺湿敏特性的SPR测试 | 第32-50页 |
| 4.1 实验过程 | 第32-39页 |
| 4.1.1 实验材料及流程 | 第32-33页 |
| 4.1.2 样品制备 | 第33-39页 |
| 4.2 湿度测试 | 第39-49页 |
| 4.2.1 传感薄膜SPR湿度测试分析 | 第40-41页 |
| 4.2.2 不同厚度的聚酰亚胺SPR测试 | 第41-42页 |
| 4.2.3 不同湿度聚酰亚胺SPR测试 | 第42-48页 |
| 4.2.4 聚酰亚胺湿敏特性可靠性测试 | 第48-49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
