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多栅无结器件新结构设计与仿真研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第1章 绪论第10-21页
    1.1 CMOS器件的研究背景第10-14页
        1.1.1 器件的栅极控制能力第11页
        1.1.2 输出电流第11-12页
        1.1.3 电容第12页
        1.1.4 功率密度第12-13页
        1.1.5 参数波动第13-14页
    1.2 CMOS器件的研究进展第14-15页
    1.3 无结器件(Junctionless)的介绍第15-20页
        1.3.1 无结器件的优势第15-17页
        1.3.2 近几年有关无结器件的研究第17-18页
        1.3.3 无结器件仍然存在的一些问题第18-20页
    1.4 论文各章结构第20-21页
第2章 非对称双栅无结器件设计与仿真第21-33页
    2.1 无结器件的电学特性第21-24页
        2.1.1 无结器件电学特性介绍第21-23页
        2.1.2 无结器件的参数波动性第23-24页
    2.2 非对称双栅无结器件的结构与设计第24-27页
        2.2.1 非对称双栅无结器件的结构第24-25页
        2.2.2 非对称双栅无结器件的设计第25-27页
    2.3 非对称双栅无结器件的仿真与特性研究第27-32页
        2.3.1 仿真物理模型校准第27-28页
        2.3.2 非对称双栅无结器件的电学特性第28-30页
        2.3.3 非对称双栅无结器件的参数波动性第30-32页
    2.4 本章小结第32-33页
第3章 P~+侧墙无结器件设计与仿真第33-44页
    3.1 多栅纳米线结构SOI无结器件第33-36页
        3.1.1 多栅纳米线结构SOI器件的优势第33-34页
        3.1.2 无结器件的侧墙研究第34-36页
    3.2 P~+侧墙三栅纳米线无结器件的结构与设计第36-40页
        3.2.1 P~+侧墙三栅纳米线无结器件结构第36-37页
        3.2.2 P~+侧墙无结器件的设计第37-40页
    3.3 P~+侧墙无结器件的仿真与特性研究第40-42页
        3.3.1 P~+侧墙无结器件的电学特性第40-42页
        3.3.2 P~+侧墙无结器件的阈值电压稳定性第42页
    3.4 本章小结第42-44页
第4章 非均匀掺杂沟道双栅无结器件设计与仿真第44-56页
    4.1 无结器件的单粒子辐射效应第44-47页
        4.1.1 辐射效应介绍第44页
        4.1.2 无结器件的单粒子辐射效应第44-47页
    4.2 非均匀掺杂沟道无结器件的结构与设计第47-50页
        4.2.1 非均匀掺杂沟道无结器件结构第47-48页
        4.2.2 非均匀掺杂沟道无结器件设计第48-50页
    4.3 非均匀掺杂沟道无结器件的辐射加固特性第50-55页
        4.3.1 非均匀掺杂沟道无结器件单粒子辐射特性研究第50-53页
        4.3.2 器件结构属性变化后辐射特性研究第53-55页
    4.4 本章小结第55-56页
结论第56-58页
参考文献第58-63页
攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果第63-64页
致谢第64页

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