聚合物微纳结构热压设备真空系统研制
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究的背景 | 第9页 |
| 1.2 热压技术概述 | 第9-11页 |
| 1.3 热压设备发展现状 | 第11-14页 |
| 1.4 热压工艺过程研究现状 | 第14-17页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 2 热压真空装置设计 | 第19-37页 |
| 2.1 热压真空装置总体方案 | 第19-20页 |
| 2.2 机械结构设计 | 第20-25页 |
| 2.2.1 连接板 | 第20-21页 |
| 2.2.2 传动轴 | 第21页 |
| 2.2.3 真空罩 | 第21-22页 |
| 2.2.4 水箱 | 第22-23页 |
| 2.2.5 上压头板 | 第23-24页 |
| 2.2.6 真空室门 | 第24页 |
| 2.2.7 下压头板 | 第24-25页 |
| 2.2.8 自适应调整结构 | 第25页 |
| 2.3 温控系统设计 | 第25-31页 |
| 2.3.1 加热和制冷器件 | 第26-27页 |
| 2.3.2 加热和制冷功率计算 | 第27-29页 |
| 2.3.3 温度传感器选用 | 第29页 |
| 2.3.4 供电电路改进设计 | 第29-30页 |
| 2.3.5 压头板温度场仿真分析 | 第30-31页 |
| 2.4 密封系统设计 | 第31-33页 |
| 2.4.1 动密封 | 第32-33页 |
| 2.4.2 静密封 | 第33页 |
| 2.5 真空系统管路搭建 | 第33-34页 |
| 2.6 热压真空装置的装配与安装 | 第34-36页 |
| 2.6.1 热压真空装置的装配 | 第34-35页 |
| 2.6.2 热压真空装置的安装 | 第35-36页 |
| 2.7 本章小结 | 第36-37页 |
| 3 热压真空装置实验测试 | 第37-45页 |
| 3.1 温度控制实验 | 第37-42页 |
| 3.1.1 实验方案设计 | 第37页 |
| 3.1.2 实验结果 | 第37-42页 |
| 3.2 真空性能实验 | 第42-43页 |
| 3.2.1 实验方案设计 | 第42页 |
| 3.2.2 实验结果 | 第42-43页 |
| 3.3 对比实验 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 聚合物微纳结构热压制作 | 第45-54页 |
| 4.1 微纳结构热压模板的制作 | 第45-46页 |
| 4.2 聚合物基片的制备 | 第46-47页 |
| 4.3 实验方案设计 | 第47-49页 |
| 4.4 实验结果 | 第49-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
