压阻式MEMS声传感器研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第9-16页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 MEMS声传感器结构设计 | 第17-32页 |
| 2.1 MEMS声传感器的工作原理 | 第17-21页 |
| 2.1.1 压阻效应 | 第17-19页 |
| 2.1.2 测量电桥 | 第19-20页 |
| 2.1.3 电路补偿 | 第20-21页 |
| 2.2 MEMS声传感器结构设计 | 第21-31页 |
| 2.2.1 传感器整体结构设计 | 第21-22页 |
| 2.2.2 声敏感芯体结构设计 | 第22页 |
| 2.2.3 SOI硅片的选择 | 第22-23页 |
| 2.2.4 声敏芯片敏感电阻设计 | 第23-24页 |
| 2.2.5 声敏芯片的设计 | 第24-27页 |
| 2.2.6 有限元力学分析及工艺参数优化 | 第27-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 工艺研究与设计 | 第32-42页 |
| 3.1 工艺设计与制作 | 第32-35页 |
| 3.1.1 工艺设计 | 第32-33页 |
| 3.1.2 MEMS声敏芯片的制作 | 第33-35页 |
| 3.2 工艺研究及技术关键 | 第35-41页 |
| 3.2.1 利用硅ICP刻蚀技术制作敏感膜结构 | 第35-38页 |
| 3.2.2 利用PECVD制作低应力钝化层 | 第38-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 测试与结果分析 | 第42-53页 |
| 4.1 传感器信号处理电路设计 | 第42-47页 |
| 4.1.1 电压供电电路设计 | 第42-43页 |
| 4.1.2 恒流源供电电路设计 | 第43页 |
| 4.1.3 小信号放大电路设计与实现 | 第43-44页 |
| 4.1.4 滤波电路设计 | 第44-46页 |
| 4.1.5 传感器整体电路设计与分析 | 第46-47页 |
| 4.2 测试方法 | 第47-49页 |
| 4.3 测试系统的组成 | 第49-50页 |
| 4.4 传感器测试结果 | 第50-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 个人简历 | 第60页 |
