基于C++程序的平面等厚干涉仪数显精度的研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-11页 |
| 1.1 本课题研究背景 | 第9页 |
| 1.2 课题国内外研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3 本课题研究内容及预期目的 | 第10-11页 |
| 第二章 平面平晶及平面度测量原理 | 第11-23页 |
| 2.1 平面度量传体系简介 | 第11-13页 |
| 2.2 平面平晶 | 第13-16页 |
| 2.3 平晶平面度测量原理 | 第16-20页 |
| 2.3.1 光线传播定律 | 第16-17页 |
| 2.3.2 光的干涉现象 | 第17-20页 |
| 2.4 平晶平面度测量设备 | 第20-22页 |
| 2.4.1 平面等厚干涉仪 | 第20-21页 |
| 2.4.2 平面等倾干涉仪 | 第21页 |
| 2.4.3 读数显微镜 | 第21-22页 |
| 2.5 测量不确定度概述 | 第22-23页 |
| 第三章 CCD摄像技术原理 | 第23-28页 |
| 3.1 数字摄像机相关知识 | 第23-24页 |
| 3.2 CCD技术简介 | 第24-25页 |
| 3.2.1 CCD基本原理 | 第24-25页 |
| 3.2.2 CCD技术特点 | 第25页 |
| 3.3 CCD数字摄像机 | 第25-28页 |
| 第四章 相关计算机程序开发技术 | 第28-32页 |
| 4.1 概述 | 第28页 |
| 4.2 Delphi程序语言 | 第28-30页 |
| 4.2.1 概述 | 第28-29页 |
| 4.2.2.Delphi特性 | 第29页 |
| 4.2.3.Delphi运行环境要求 | 第29页 |
| 4.2.4. Delphi安装方式步骤 | 第29-30页 |
| 4.2.5 Delphi的集成开发环境 | 第30页 |
| 4.3. C++程序语言 | 第30-32页 |
| 4.3.1 概述 | 第30-31页 |
| 4.3.2 编程步骤 | 第31-32页 |
| 第五章 平面等厚干涉仪改造方案设计 | 第32-56页 |
| 5.1 平晶平面度测量方法 | 第32-34页 |
| 5.1.1 概述 | 第32页 |
| 5.1.2 测量条件与过程 | 第32-34页 |
| 5.2 平面等厚干涉仪精度改造方案设计 | 第34-35页 |
| 5.3 读数装置硬件部分改造 | 第35-40页 |
| 5.4 半自动测量程序设计 | 第40-45页 |
| 5.4.1 概述 | 第40-41页 |
| 5.4.2 半自动测量程序的编制 | 第41-44页 |
| 5.4.3 半自动测量程序操作界面 | 第44-45页 |
| 5.5全动测量程序设计 | 第45-56页 |
| 5.5.1概述 | 第45-49页 |
| 5.5.2全自动测量程序的编制 | 第49-56页 |
| 第六章 平面等厚干涉仪精度改造方案结论 | 第56-68页 |
| 6.1 测量实验分析 | 第56-61页 |
| 6.1.1 半自动测量程序结论 | 第56-60页 |
| 6.1.2 全自动测量程序结论 | 第60-61页 |
| 6.1.3 半自动和全自动测量程序比较 | 第61页 |
| 6.2 不确定度分析 | 第61-68页 |
| 6.2.1 光学读数显微镜测量不确定度评定 | 第61-64页 |
| 6.2.2 半自动测量程序测量不确定度评定 | 第64-66页 |
| 6.2.3 测量不确定度评定结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
