| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 硬质涂层的研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 硬质涂层的种类 | 第10-12页 |
| 1.2.2 硬质涂层的结合形式 | 第12-14页 |
| 1.2.3 硬质涂层的冲蚀磨损 | 第14-17页 |
| 1.3 本课题的研究意义和主要内容 | 第17-19页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第17页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 ZrTiAlN涂层残余热应力的数值分析 | 第19-31页 |
| 2.1 ZrTiAlN涂层残余热应力的有限元建模 | 第19-21页 |
| 2.2 ZrTiAlN涂层内残余热应力分析 | 第21-26页 |
| 2.2.1 涂层内残余热应力的分布特性 | 第21-22页 |
| 2.2.2 涂层内残余热应力的影响因素分析 | 第22-26页 |
| 2.3 ZrTiAlN涂层界面残余热应力分析 | 第26-30页 |
| 2.3.1 涂层厚度的影响 | 第27-28页 |
| 2.3.2 中间过渡层的影响 | 第28-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 ZrTiAlN涂层的制备及工艺参数对其性能的影响 | 第31-51页 |
| 3.1 ZrTiAlN涂层的制备 | 第31-35页 |
| 3.1.1 实验设备 | 第31-32页 |
| 3.1.2 实验材料 | 第32-33页 |
| 3.1.3 制备流程 | 第33-35页 |
| 3.2 ZrTiAlN涂层的性能表征 | 第35-37页 |
| 3.2.1 涂层的微观形貌 | 第35页 |
| 3.2.2 涂层的元素成分 | 第35-36页 |
| 3.2.3 涂层的显微硬度与弹性模量 | 第36页 |
| 3.2.4 涂层的结合力 | 第36-37页 |
| 3.3 工艺参数对ZrTiAlN涂层性能的影响 | 第37-48页 |
| 3.3.1 Zr靶溅射功率 | 第37-40页 |
| 3.3.2 TiAl合金靶溅射功率 | 第40-44页 |
| 3.3.3 基体表面粗糙度 | 第44-46页 |
| 3.3.4 基体材料 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-51页 |
| 第四章 ZrTiAlN涂层的冲蚀磨损特性研究 | 第51-69页 |
| 4.1 ZrTiAlN涂层冲蚀磨损实验 | 第51-56页 |
| 4.1.1 实验装置 | 第51-52页 |
| 4.1.2 实验材料 | 第52-53页 |
| 4.1.3 试验方法 | 第53-56页 |
| 4.2 ZrTiAlN涂层的冲蚀磨损特性 | 第56-59页 |
| 4.2.1 ZrTiAlN涂层的冲蚀磨损率 | 第56-57页 |
| 4.2.2 ZrTiAlN涂层性能对其冲蚀磨损率的影响 | 第57-59页 |
| 4.2.3 基体材料对涂层冲蚀磨损率的影响 | 第59页 |
| 4.3 ZrTiAlN涂层冲蚀磨损机理分析 | 第59-67页 |
| 4.3.1 ZrTiAlN涂层冲蚀坑轮廓分析 | 第60-62页 |
| 1. ZrTiAlN涂层冲蚀前轮廓 | 第60页 |
| 2. ZrTiAlN涂层冲蚀后轮廓 | 第60-62页 |
| 4.3.2 YT15基ZrTiAlN涂层冲蚀磨损机理 | 第62-65页 |
| 4.3.3 Q235A基ZrTiAlN涂层冲蚀磨损机理 | 第65-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第五章 结论与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 本文总结 | 第69-70页 |
| 5.2 研究展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 附录 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
