覆盖聚合物的硅基纳米梁腔及应用的研究
| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第14-32页 |
| 1.1 硅基光子学与硅基光子器件 | 第14-19页 |
| 1.1.1 硅基光子学 | 第14-15页 |
| 1.1.2 硅基光子器件 | 第15-19页 |
| 1.2 硅基纳米梁腔 | 第19-27页 |
| 1.2.1 硅基纳米梁腔概述 | 第20-23页 |
| 1.2.2 硅基纳米梁腔的典型应用 | 第23-26页 |
| 1.2.3 硅基纳米梁腔的发展趋势 | 第26-27页 |
| 1.3 本文的工作及创新点 | 第27-32页 |
| 1.3.1 本文的章节安排 | 第28-29页 |
| 1.3.2 本文的主要创新点 | 第29-32页 |
| 2 硅基纳米梁腔的基本理论 | 第32-46页 |
| 2.1 硅基纳米梁腔的带隙结构 | 第32-34页 |
| 2.2 硅基纳米梁腔的两种类型 | 第34-36页 |
| 2.2.1 介质模式纳米梁腔 | 第35页 |
| 2.2.2 空气模式纳米梁腔 | 第35-36页 |
| 2.3 硅基纳米梁腔的设计 | 第36-44页 |
| 2.3.1 设计指标 | 第36-41页 |
| 2.3.2 仿真方法 | 第41-42页 |
| 2.3.3 设计过程 | 第42-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 3 硅基纳米梁腔的制备与测试方法 | 第46-70页 |
| 3.1 硅基纳米梁腔的制备 | 第46-55页 |
| 3.1.1 SOI基片的清洗与匀胶 | 第46-48页 |
| 3.1.2 电子束曝光与显影 | 第48-50页 |
| 3.1.3 干法刻蚀 | 第50-53页 |
| 3.1.4 套刻耦合光栅 | 第53-55页 |
| 3.2 硅基纳米梁腔的测试 | 第55-57页 |
| 3.3 高灵敏度纳米梁腔传感器 | 第57-67页 |
| 3.3.1 研究现状 | 第57-61页 |
| 3.3.2 高灵敏度折射率传感器 | 第61-65页 |
| 3.3.3 实验结果 | 第65-67页 |
| 3.4 本章小结 | 第67-70页 |
| 4 热不敏感低折射率模式硅基纳米梁腔 | 第70-84页 |
| 4.1 硅基热不敏感器件的实现方法 | 第70-72页 |
| 4.2 热不敏感纳米梁腔的设计 | 第72-77页 |
| 4.2.1 理论分析 | 第73-74页 |
| 4.2.2 仿真设计 | 第74-77页 |
| 4.3 热不敏感纳米梁腔的制备与测试 | 第77-82页 |
| 4.3.1 不同聚合物的填充结果 | 第78页 |
| 4.3.2 热不敏感硅基纳米梁腔的制备 | 第78-80页 |
| 4.3.3 热不敏感硅基纳米梁腔的测试 | 第80-82页 |
| 4.4 本章小结 | 第82-84页 |
| 5 硅基纳米梁腔的波长调控 | 第84-102页 |
| 5.1 硅基微腔的波长调控方法 | 第85-88页 |
| 5.1.1 有源方法调节谐振波长 | 第85-86页 |
| 5.1.2 谐振波长的后期调节 | 第86-88页 |
| 5.2 电子束曝光控制SU-8的厚度 | 第88-89页 |
| 5.3 上包层厚度对谐振波长的影响 | 第89-91页 |
| 5.4 制备方法与测试结果 | 第91-95页 |
| 5.5 超低功耗可调纳米梁腔的设计 | 第95-100页 |
| 5.6 本章小结 | 第100-102页 |
| 6 高灵敏度硅基纳米梁腔温度传感器 | 第102-118页 |
| 6.1 硅基温度传感器 | 第102-106页 |
| 6.1.1 谐振型温度传感器 | 第103-105页 |
| 6.1.2 干涉型温度传感器 | 第105-106页 |
| 6.2 级联纳米梁腔温度传感器 | 第106-110页 |
| 6.3 级联纳米梁腔温度传感器的制备 | 第110-113页 |
| 6.4 级联纳米梁腔温度传感器的测试 | 第113-116页 |
| 6.5 本章小结 | 第116-118页 |
| 7 总结与展望 | 第118-122页 |
| 7.1 工作总结 | 第118-119页 |
| 7.2 工作展望 | 第119-122页 |
| 参考文献 | 第122-130页 |
| 作者简介 | 第130页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第130-131页 |
