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磷化铟纳米线及其平面阵列的制备和光探测研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第12-29页
    1.1 引言第12-13页
        1.1.1 纳米材料与特性第12-13页
    1.2 一维半导体纳米材料的合成方法第13-21页
        1.2.1 液相生长法第14-16页
        1.2.2 气相生长法第16-21页
    1.3 InP半导体纳米材料第21-27页
        1.3.1 InP的结构第21页
        1.3.2 一维InP纳米结构的合成第21-22页
        1.3.3 一维InP纳米结构的应用第22-27页
    1.4 本文的选题意义及研究内容第27-29页
第2章 高质量InP纳米线的CVD制备第29-38页
    2.1 引言第29页
    2.2 实验部分第29-32页
        2.2.1 实验原料第29-30页
        2.2.2 实验仪器第30页
        2.2.3 高结晶度InP纳米线的制备第30-31页
        2.2.4 高质量InP纳米线的表征第31-32页
    2.3 结果与分析第32-37页
        2.3.1 InP纳米线的SEM表征结果与分析第32-33页
        2.3.2 InP纳米线的AFM表征结果与分析第33页
        2.3.3 InP纳米线的XRD表征结果与分析第33-34页
        2.3.4 InP纳米线的TEM表征结果与分析第34-35页
        2.3.5 InP纳米线的光学性质表征结果与分析第35-36页
        2.3.6 高质量InP纳米线的形成机理分析第36-37页
    2.4 本章小结第37-38页
第3章 高质量InP纳米线光探测器第38-48页
    3.1 引言第38-39页
    3.2 实验部分第39-42页
        3.2.1 实验原料第39页
        3.2.2 实验仪器第39-40页
        3.2.3 InP纳米线场效应晶体管和光探测器的制作第40-42页
    3.3 结果与分析第42-47页
        3.3.1 InP纳米线的电输运性能测试结果与分析第42-44页
        3.3.2 InP纳米线的光探测性能测试结果与分析第44-47页
    3.4 本章小结第47-48页
第4章 InP纳米线平面阵列的导向生长与光探测研究第48-57页
    4.1 引言第48-49页
    4.2 实验部分第49-51页
        4.2.1 实验原料第49页
        4.2.2 实验仪器第49-50页
        4.2.3 InP纳米线阵列的平面导向生长第50-51页
        4.2.4 导向生长InP纳米线阵列的表征第51页
    4.3 结果与分析第51-55页
        4.3.1 导向InP纳米线阵列的基本形貌表征结果与分析第51-52页
        4.3.2 导向InP纳米线阵列的AFM表征结果与分析第52-53页
        4.3.3 导向InP纳米线阵列的元素和XRD表征结果与分析第53页
        4.3.4 导向InP纳米线阵列的光学性质表征结果与分析第53-54页
        4.3.5 导向InP纳米线阵列的光电性质表征结果与分析第54-55页
    4.4 本章小结第55-57页
结论和展望第57-59页
    1、结论第57-58页
    2、展望第58-59页
参考文献第59-70页
附录A 攻读硕士学位期间所发表的论文第70-71页
致谢第71页

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