快速响应湿敏元件特性及其测试方法的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-24页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·国内外发展现状 | 第12-23页 |
| ·本文的主要工作 | 第23-24页 |
| 2 平行板电容式湿敏元件及其感湿机理 | 第24-33页 |
| ·湿度测量技术 | 第24-29页 |
| ·快速响应湿敏元件及感湿材料选型 | 第29-31页 |
| ·平行板电容式湿敏元件的感湿机理 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 聚酰亚胺感湿薄膜及其孔隙率 | 第33-42页 |
| ·聚酰亚胺感湿薄膜 | 第33-36页 |
| ·聚酰亚胺感湿薄膜的制备 | 第36-39页 |
| ·聚酰亚胺感湿薄膜孔隙率 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 快速响应湿敏元件水蒸气传输规律 | 第42-55页 |
| ·数值计算思路 | 第42-43页 |
| ·物理模型 | 第43-44页 |
| ·数学模型 | 第44-45页 |
| ·数值方法和有效性验证 | 第45-49页 |
| ·结果和讨论 | 第49-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 快速响应湿敏元件的制备 | 第55-62页 |
| ·湿敏元件结构设计 | 第55-57页 |
| ·湿敏元件制备工艺 | 第57-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 6 快速响应湿敏元件动态特性标定测试方法及其系统 | 第62-76页 |
| ·快速响应湿敏元件动态特性标定测试系统 | 第62-68页 |
| ·测试步骤 | 第68-69页 |
| ·标定测试系统的性能 | 第69-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 7 湿敏元件的湿敏性能 | 第76-89页 |
| ·静态特性测试系统和方法 | 第76页 |
| ·栅状上电极尺寸对湿敏性能的影响 | 第76-81页 |
| ·感湿材料对湿敏特性的影响 | 第81-82页 |
| ·湿敏元件的寿命考核 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83-89页 |
| 结论 | 第89-91页 |
| 主要结论 | 第89-90页 |
| 论文的主要创新点 | 第90页 |
| 工作展望 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-99页 |
| 附录A1 主要符号表 | 第99-101页 |
| 附录A2 不可溶聚酰亚胺膜比表面积仪测试结果 | 第101-102页 |
| 附录A3 可溶性聚酰亚胺膜比表面积仪测试结果 | 第102-103页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第103-104页 |
