圆柱母光栅精密微刻划研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·微型沟槽阵列功能器件的应用与制造 | 第8-15页 |
| ·微型 V 沟槽的应用 | 第8-12页 |
| ·微型 V 沟槽的加工工艺 | 第12-15页 |
| ·微型刀具制造现状 | 第15-16页 |
| ·课题背景 | 第16-18页 |
| 第二章 FIB 制备刀具 | 第18-29页 |
| ·离子束系统的基本原理与分类 | 第18-21页 |
| ·聚焦离子束加工基本原理 | 第18-20页 |
| ·聚焦离子束系统的分类 | 第20-21页 |
| ·FIB 制备刀具的优势 | 第21-23页 |
| ·FIB 制备金刚石刀具过程 | 第23-27页 |
| ·刀具制备的影响因素与前期处理 | 第23-24页 |
| ·主要参数的选取 | 第24-25页 |
| ·FIB 加工主要工艺优化方式 | 第25-27页 |
| ·FIB 对刀具加工结果 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 实验系统的搭建 | 第29-39页 |
| ·加工系统 | 第29-35页 |
| ·微刻划加工系统 | 第29-35页 |
| ·金刚石刀具加工系统 | 第35页 |
| ·观察系统 | 第35-36页 |
| ·实验材料以及预实验设计 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 微栅距母光栅的制造工艺优化方法 | 第39-51页 |
| ·影响表面质量的主要因素 | 第39-40页 |
| ·前刀面张角对刻划质量的影响 | 第40-42页 |
| ·从切屑的形态分析增大前刀面张角改善刻划质量原理 | 第40-42页 |
| ·前刀面张角的选取与刻划质量优化结果 | 第42页 |
| ·多步法对刻划质量的影响 | 第42-46页 |
| ·从切屑的形态分析多步法改善刻划质量原理 | 第43-44页 |
| ·多步法的选取与刻划质量优化结果 | 第44-46页 |
| ·其他刻划工艺优化方法 | 第46-48页 |
| ·1122 多步法与 1212 多步法 | 第46-47页 |
| ·出入刀与进退刀工艺参数的优化 | 第47-48页 |
| ·刻划加工结果 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 母光栅表面刻划机理 | 第51-63页 |
| ·切屑形态角度对切削过程进行分析 | 第51-56页 |
| ·切屑干涉现象及原理 | 第51-52页 |
| ·切屑形态变化过程 | 第52-53页 |
| ·切削过程的有限元模拟 | 第53-56页 |
| ·微尺度下刻划机理的深入研究 | 第56-62页 |
| ·更微小尺度下切削质量变化趋势 | 第56-57页 |
| ·更微小尺度下毛刺聚集问题与两种原因假设 | 第57页 |
| ·微尺度下 V 沟槽表面质量问题的原理分析 | 第57-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
