声表面波压力传感器的研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-9页
1 绪论	第9-12页
·研究意义及研究背景	第9-10页
·声表面波力传器的发展及趋势	第10-11页
·论文主要研究内容和结构	第11-12页
2 声表面波压力传感器原理	第12-25页
·压电晶体理论分析	第12-20页
·压电性基础	第12-13页
·声表面波材料的重要参数	第13-14页
·压电材料分类	第14-16页
·LiNbO_3(铌酸锂)压电材料的基本性质	第16-20页
·声表面波压力传感器	第20-24页
·声表面波压力传感器结构	第20-22页
·声表面波压力传感器工作原理	第22-24页
·小结	第24-25页
3 声表面压压力传感器相关设计及模型建立	第25-34页
·基片材料选择	第25-26页
·叉指换能器设计	第26-30页
·输入叉指换能器设计	第27-28页
·输出叉指换能器设计	第28页
·温度补偿	第28-30页
·声表面波压力传感器的线性回归数学模型建立及求解	第30-33页
·线性回归分析模型的建立	第30-31页
·线性回归分析模型的求解	第31-33页
·小结	第33-34页
4 声表面波压力传感器的制作	第34-43页
·用光刻法制备声表面波压力传感器叉指换能器	第34-42页
·制备压电基片及前期预处理	第34-36页
·叉指换能器图形制作	第36-40页
·声表面波压力传感器的后续工艺	第40-42页
·小结	第42-43页
5 测试及结果分析	第43-49页
·实验内容	第43-45页
·结果及讨论	第45-48页
·小结	第48-49页
6 结论与展望	第49-51页
·总结	第49页
·展望	第49-51页
参考文献	第51-55页
附录A：输入换能器加权后的指条长度	第55-56页
附录B：原始数据	第56-58页
攻读学位期间的研究成果目录	第58-59页
致谢	第59页