微型谐振式化学气敏传感器多场耦合动力学研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·谐振式化学气敏传感器概述 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 微谐振梁机械化学耦合自由振动分析 | 第17-37页 |
| ·谐振梁的自由振动分析 | 第17-21页 |
| ·谐振梁化学反应模型的建立 | 第17-18页 |
| ·谐振梁机械动力学模型的建立 | 第18-20页 |
| ·模态函数和固有频率 | 第20-21页 |
| ·非线性近似解 | 第21-25页 |
| ·瞬时频率 | 第25-26页 |
| ·结果分析 | 第26-36页 |
| ·系统参数影响分析 | 第27-35页 |
| ·灵敏度分析 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 微谐振梁机电化学耦合振动分析 | 第37-54页 |
| ·微悬臂梁机电耦合自由振动分析 | 第37-40页 |
| ·微谐振梁机电耦合受迫振动分析 | 第40-41页 |
| ·结果分析 | 第41-53页 |
| ·系统结构参数与初始固有频率 | 第41-42页 |
| ·系统参数对瞬时频率的影响分析 | 第42-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 微谐振梁机械化学流体耦合自由振动分析 | 第54-68页 |
| ·谐振梁机械化学流体耦合动力学模型建立 | 第54-56页 |
| ·非线性自由振动分析 | 第56-59页 |
| ·瞬时频率 | 第59-60页 |
| ·结果分析 | 第60-67页 |
| ·位移响应分析 | 第60-62页 |
| ·位移响应随参数变化 | 第62-65页 |
| ·瞬时频率参数影响分析 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 微谐振梁机电化学流体耦合振动分析 | 第68-87页 |
| ·微梁机电化学流体耦合动力学模型建立 | 第68页 |
| ·微悬臂梁机电化学流体耦合自由振动分析 | 第68-71页 |
| ·微悬臂梁机电化学流体耦合受迫振动分析 | 第71-76页 |
| ·简谐受迫振动方程的建立 | 第71-72页 |
| ·非线性受迫振动求解 | 第72-75页 |
| ·灵敏度 | 第75-76页 |
| ·结果分析 | 第76-86页 |
| ·瞬时频率特性分析 | 第76-78页 |
| ·共振分析 | 第78-79页 |
| ·幅频特性参数影响分析 | 第79-83页 |
| ·灵敏度分析 | 第83-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第6章 微型谐振式化学气敏传感器实验研究 | 第87-106页 |
| ·微悬臂梁的制作 | 第87-92页 |
| ·制品材料的选择 | 第87-88页 |
| ·电铸工艺流程 | 第88-89页 |
| ·镍电铸实验 | 第89-92页 |
| ·谐振梁机电流体耦合振动测试 | 第92-100页 |
| ·测试实验原理 | 第92-95页 |
| ·共振区域检测 | 第95-100页 |
| ·实验结果与理论值对比分析 | 第100页 |
| ·气敏传感器振动频率测试 | 第100-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 结论 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-110页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第110-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 作者简介 | 第112页 |
