| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·存储技术发展历程 | 第10-11页 |
| ·柔性材料的发展与应用 | 第11-16页 |
| ·阻变存储器基本结构及材料体系 | 第16-17页 |
| ·阻变存储器的基本结构 | 第16页 |
| ·阻变存储器的材料体系 | 第16-17页 |
| ·TiO_2结构性能及其制备方法 | 第17-19页 |
| ·TiO_2的结构与性质 | 第17-18页 |
| ·TiO_2薄膜的制备方法 | 第18-19页 |
| ·基于 TiO_2柔性阻变存储器研究现状 | 第19-20页 |
| ·本论文的研究意义和研究内容 | 第20-21页 |
| ·本论文的研究意义 | 第20页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 TiO_2柔性存储单元制备与表征分析 | 第21-27页 |
| ·TiO_2柔性存储器件单元的制备 | 第21-24页 |
| ·衬底清洗 | 第21-22页 |
| ·下电极制备 | 第22页 |
| ·TiO_2薄膜制备 | 第22-23页 |
| ·上电极制备 | 第23-24页 |
| ·薄膜及器件单元性能分析与表征 | 第24-27页 |
| ·表面形貌分析 | 第24页 |
| ·薄膜厚度测试 | 第24-25页 |
| ·器件单元电学性能测试 | 第25-27页 |
| 第三章 衬底对电极和阻变层薄膜性能的影响 | 第27-35页 |
| ·不同衬底对电极薄膜的影响 | 第29-31页 |
| ·不同衬底对 TiO_2薄膜性能的影响 | 第31-34页 |
| ·不同衬底对 TiO_2薄膜表面形貌的影响 | 第31-33页 |
| ·不同衬底对 TiO_2阻变器件电学特性的影响 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 不同电极对柔性 TiO2阻变存储器性能的影响 | 第35-46页 |
| ·不同电极对 TiO2阻变性能的影响 | 第36-38页 |
| ·不同弯曲半径对柔性 TiO2存储器性能的影响 | 第38-42页 |
| ·不同弯曲次数对柔性 TiO2存储器性能的影响 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第五章 结论与展望 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |