纳米三坐标测量机模拟式探头系统实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 致谢 | 第8-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-21页 |
| ·研究背景 | 第15-16页 |
| ·国内外探头的研究进展 | 第16-19页 |
| ·本课题研究的目的、意义、主要内容及其来源 | 第19-21页 |
| ·目的意义 | 第19-20页 |
| ·主要内容 | 第20页 |
| ·课题来源 | 第20-21页 |
| 第2章 模拟式探头系统的工作原理 | 第21-30页 |
| ·二维角度测量系统的工作原理 | 第21-27页 |
| ·DVD 激光读取头感测原理 | 第21-22页 |
| ·四象限光电传感器 | 第22-23页 |
| ·自动准直仪的原理 | 第23-24页 |
| ·二维角度测量系统 | 第24-27页 |
| ·一维位移测量系统的工作原理 | 第27-30页 |
| ·干涉测量原理 | 第27-28页 |
| ·Michelson 激光干涉仪工作原理 | 第28-30页 |
| 第3章 模拟式探头系统的构建 | 第30-36页 |
| ·模拟式探头的组件介绍 | 第30-33页 |
| ·传感器组件的选用 | 第30-31页 |
| ·探头调整机构的设计 | 第31-32页 |
| ·探头悬浮机构的设计 | 第32-33页 |
| ·测杆与测球的选取 | 第33页 |
| ·探头结构参数 | 第33-34页 |
| ·探头组装 | 第34页 |
| ·探头数据采集与处理系统 | 第34-36页 |
| ·数据采集卡、接线盒与屏蔽电缆的选取 | 第35页 |
| ·数据采集及处理系统的软件 | 第35页 |
| ·数据采集与处理系统构建 | 第35-36页 |
| 第4章 模拟式探头的性能测试及改进 | 第36-57页 |
| ·探头三轴量程测试 | 第36-40页 |
| ·DVD 激光读取头四象限角度线性范围的测试 | 第36-37页 |
| ·模拟式探头水平方向线性范围的测试 | 第37-38页 |
| ·DVD 激光读取头内部四象限传感器的改进 | 第38-39页 |
| ·模拟式探头垂直方向线性范围的测试 | 第39-40页 |
| ·探头稳定性测试 | 第40-45页 |
| ·探头的工作环境 | 第40-41页 |
| ·探头三轴信号噪声测试 | 第41-42页 |
| ·探头分辨力的测试 | 第42-43页 |
| ·探头三轴信号漂移测试 | 第43-45页 |
| ·探头三轴重复性测试 | 第45-53页 |
| ·探头零点重复性的测试 | 第45-46页 |
| ·二维角度系统重复性的测试 | 第46-48页 |
| ·Michelson 激光干涉仪重复性的测试 | 第48-51页 |
| ·实验数据分析 | 第51-53页 |
| ·探头接触力与各向同性实验 | 第53-56页 |
| ·测力计的开发 | 第53-54页 |
| ·测力计的标定 | 第54-55页 |
| ·探头测力实验 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 纳米三坐标测量机模拟式探头的标定 | 第57-64页 |
| ·三维空间坐标转换模型的建立 | 第57-59页 |
| ·基于整体最小二乘法的空间直角坐标转换参数的求解 | 第59-61页 |
| ·整体最小二乘原理的理论思想 | 第59页 |
| ·坐标转换参数的求解 | 第59-61页 |
| ·标定试验与验证 | 第61-63页 |
| ·标定实验的建立 | 第61页 |
| ·参数标定 | 第61-63页 |
| ·结论 | 第63-64页 |
| 第6章 纳米三坐标测量机模拟式探头的误差分析 | 第64-69页 |
| ·纳米三坐标测量机模拟式探头静态误差源分析 | 第64-66页 |
| ·内部传感器的误差 | 第64页 |
| ·阿贝误差 | 第64-65页 |
| ·安装误差 | 第65页 |
| ·测量环境对模拟探头系统的影响 | 第65-66页 |
| ·纳米三坐标测量机模拟式探头动态误差源分析 | 第66-69页 |
| ·预行程的影响 | 第66页 |
| ·动态有效作用直径 | 第66-67页 |
| ·摩擦引起的误差 | 第67页 |
| ·示值误差 | 第67页 |
| ·探测速度的影响 | 第67-69页 |
| 第7章 研究总结与工作展望 | 第69-71页 |
| ·研究总结 | 第69页 |
| ·工作展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第73-74页 |
