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吸附和温度对微—纳米传感器静动力学响应的理论研究及有限元分析

中文摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-14页
   ·微-纳米梁在吸附和温度影响下静动力学响应的研究背景和意义第7页
   ·微-纳米梁在吸附和温度影响下静动力学响应的国内外研究进展第7-13页
     ·微-纳米梁结构的应用简介第7-9页
     ·微-纳米梁在吸附作用下的静动力学响应第9-12页
     ·微-纳米梁在温度效应作用下的静动力学响应第12-13页
   ·本论文的主要工作第13-14页
第二章 微-纳米梁在吸附和温度作用下的静力学响应第14-26页
   ·范德华作用与表面应力第14-15页
   ·微-纳米梁的一维力学模型第15-17页
   ·微-纳米梁弯曲曲率公式的推导第17-21页
   ·数值计算与分析第21-24页
     ·数值计算的参数第21-22页
     ·数值计算的结果与分析第22-24页
   ·小结第24-26页
第三章 微-纳米悬臂梁在吸附和温度作用下的动力学响应第26-36页
   ·微-纳米悬臂梁在吸附和温度作用下的振动理论基础第26-28页
     ·微-纳米悬臂梁在吸附作用下的振动理论基础第26-27页
     ·微-纳米悬臂梁在吸附作用下的振动理论基础第27-28页
   ·微-纳米悬臂梁振动频率公式的推导第28-31页
   ·数值计算与分析第31-35页
   ·小结第35-36页
第四章 纳米薄膜自卷曲现象的有限元分析第36-52页
   ·单层 Si 薄膜自卷曲现象的有限元分析第39-44页
     ·Si 薄膜的二维有限元模型第39-41页
     ·Si 薄膜在吸附作用驱动下自卷曲现象的有限元分析第41-44页
   ·双层 Au/Si 薄膜自卷曲现象的有限元分析第44-47页
     ·Au/Si 双层薄膜的二维有限元模型第44-45页
     ·Au/Si 薄膜在吸附作用驱动下自卷曲现象的有限元分析第45-47页
   ·温度变化对于 Au/Si 薄膜自卷曲现象的影响第47-51页
     ·Hg 原子吸附时考虑温度因素后的有限元分析第48-49页
     ·O 原子吸附时考虑温度因素后的有限元分析第49-51页
   ·小结第51-52页
第五章 微-纳米悬臂梁动力学性质的有限元分析第52-58页
   ·微-纳米悬臂梁二维有限元模型的建立第52-54页
     ·有限元模拟计算的参数第52-53页
     ·Au/Si3N4悬臂梁的有限元模型的建立第53-54页
   ·吸附影响下的 Au/Si3 N 4悬臂梁频移的有限元分析第54-55页
   ·温度影响下的 Au/ 悬臂梁频移的有限元分析第55-56页
   ·小结第56-58页
第六章 总结与展望第58-60页
参考文献第60-64页
发表论文和科研情况说明第64-65页
致谢第65页

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