MEMS微陀螺仪振动分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-24页 |
| ·引言 | 第14-16页 |
| ·MEMS 微陀螺仪的理论研究 | 第16-21页 |
| ·陀螺仪的研究 | 第16-18页 |
| ·MEMS 技术的发展背景研究 | 第18-19页 |
| ·MEMS 微陀螺仪的研究 | 第19-21页 |
| ·MEMS 微陀螺仪的应用前景 | 第21页 |
| ·本文研究内容与结构安排 | 第21-24页 |
| 第二章 MEMS 振动微陀螺仪模型建立与分析 | 第24-31页 |
| ·振动微陀螺仪的基本介绍 | 第24-25页 |
| ·振动微陀螺仪的基本构造 | 第25-27页 |
| ·振动微陀螺仪的力学模型简化及分析 | 第25-27页 |
| ·振动微陀螺仪的共振特性分析 | 第27-29页 |
| ·模态匹配分析 | 第29-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 第三章 MEMS 微陀螺仪机械耦合误差分析 | 第31-39页 |
| ·二自由度 Z 轴微陀螺仪 | 第31-33页 |
| ·机械耦合的误差分析 | 第33-36页 |
| ·非等弹性 | 第33-34页 |
| ·阻尼不对称 | 第34-35页 |
| ·质量分布不均匀 | 第35-36页 |
| ·机械耦合误差数值分析 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-39页 |
| 第四章 机电耦合下三自由度的微陀螺仪的设计与研究 | 第39-60页 |
| ·三自由度微陀螺仪的工作原理 | 第39-43页 |
| ·三自由度振动微陀螺仪的设计思想 | 第40-41页 |
| ·三自由度微陀螺仪的力学简化模型 | 第41-43页 |
| ·MEMS 微陀螺仪的电力学研究 | 第43-47页 |
| ·微陀螺仪中电容电极基础分析 | 第43-44页 |
| ·典型静电力驱动分析 | 第44-45页 |
| ·典型电容探测器分析 | 第45-47页 |
| ·机电耦合下驱动模态分析 | 第47-55页 |
| ·驱动方向静电力分析Ι | 第47-51页 |
| ·驱动方向静电力分析ΙΙ | 第51-55页 |
| ·机电耦合下感应模态分析 | 第55-57页 |
| ·闭环控制 | 第57-58页 |
| ·小结 | 第58-60页 |
| 第五章 总结 | 第60-61页 |
| ·本文的主要工作与研究 | 第60页 |
| ·未来工作展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第66页 |
