| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-31页 |
| ·课题来源及研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| ·基于聚合物的微结构加工技术的研究现状 | 第16-22页 |
| ·光刻技术 | 第16-17页 |
| ·纳米压印技术 | 第17-18页 |
| ·软印刷技术 | 第18-19页 |
| ·自组装技术 | 第19-20页 |
| ·基于SPM的加工技术 | 第20-21页 |
| ·其他的聚合物制备技术 | 第21-22页 |
| ·自组装褶皱图案的研究现状 | 第22-29页 |
| ·褶皱现象 | 第22-23页 |
| ·硬质薄膜/弹性体聚合物的自组装褶皱图案 | 第23-24页 |
| ·自组装褶皱图案的调控 | 第24-28页 |
| ·自组装褶皱图案的应用 | 第28-29页 |
| ·有待解决的问题 | 第29-30页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第30-31页 |
| 第2章 PDMS的性能研究 | 第31-52页 |
| ·PDMS的化学结构和特性 | 第31-35页 |
| ·化学构成 | 第31-33页 |
| ·主要特性 | 第33-35页 |
| ·纳米压痕法测量PDMS机械性能 | 第35-43页 |
| ·纳米压痕法的理论基础 | 第35-37页 |
| ·Hysitron纳米原位测力仪 | 第37-38页 |
| ·纳米压痕实验 | 第38-43页 |
| ·PDMS的复制模铸性能 | 第43-51页 |
| ·纳米压痕图案 | 第44-45页 |
| ·基于AFM的机械刻划 | 第45-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第3章 Au/PDMS自组装褶皱图案的分析和评价 | 第52-73页 |
| ·金属薄膜/弹性体聚合物自组装褶皱图案的机理分析 | 第52-61页 |
| ·薄膜应力 | 第53-54页 |
| ·褶皱图案形成机理 | 第54-57页 |
| ·实验研究 | 第57-60页 |
| ·褶皱图案的预防和消除 | 第60-61页 |
| ·褶皱图案的纹理评价 | 第61-72页 |
| ·快速傅立叶变换 | 第62-65页 |
| ·灰度共生矩阵 | 第65-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第4章 调控Au/PDMS自组装褶皱图案的实验研究 | 第73-94页 |
| ·调控方式的选择 | 第73-74页 |
| ·制备硬质模板 | 第74-77页 |
| ·光刻技术 | 第74-76页 |
| ·超精密车削技术 | 第76-77页 |
| ·PDMS基体形貌对褶皱图案的调控 | 第77-87页 |
| ·实验部分 | 第77-78页 |
| ·非耦合作用的调控褶皱图案 | 第78-83页 |
| ·耦合作用的调控褶皱图案 | 第83-87页 |
| ·调控锯齿状褶皱图案的实验研究 | 第87-92页 |
| ·光刻图案 | 第88-89页 |
| ·车削图案 | 第89-92页 |
| ·本章小结 | 第92-94页 |
| 第5章 基于PDMS的转移印刷制备复合微结构的实验研究 | 第94-111页 |
| ·转移印刷 | 第94-95页 |
| ·实验材料及转移方式 | 第95-97页 |
| ·纳米划痕技术 | 第97-98页 |
| ·薄膜沉积技术 | 第98-103页 |
| ·未沉积薄膜的Si片 | 第99-100页 |
| ·离子溅射 | 第100-102页 |
| ·电子束蒸发 | 第102-103页 |
| ·粘附作用 | 第103-106页 |
| ·配比对PDMS粘附性能的影响 | 第104-106页 |
| ·Ti粘附层 | 第106页 |
| ·基于PDMS粘附作用的转移印刷 | 第106-110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 结论 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-124页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第124-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 个人简历 | 第127页 |