摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-11页 |
引言 | 第11-12页 |
第1章 宽带隙ZnO材料综述 | 第12-35页 |
·ZnO的晶体结构 | 第14页 |
·ZnO的物理特性 | 第14-17页 |
·ZnO薄膜的制备方法 | 第17-22页 |
·化学气相淀积技术 | 第17-18页 |
·分子束外延(MBE) | 第18页 |
·溅射(Sputtering) | 第18-19页 |
·脉冲激光沉积(PLD) | 第19-20页 |
·喷射热分解技术(Spray Pyrolysis) | 第20-21页 |
·溶胶-凝胶法(Sol-gel) | 第21-22页 |
·纳米材料和技术的概况 | 第22-23页 |
·纳米材料的概念 | 第22页 |
·纳米材料的基本物理效应 | 第22-23页 |
·ZnO纳米材料的制备 | 第23-27页 |
·ZnO的器件应用 | 第27-29页 |
·近来的ZnO的研究热点 | 第29-31页 |
·p型ZnO薄膜的研究 | 第29-30页 |
·ZnO纳米的研究 | 第30-31页 |
参考文献 | 第31-35页 |
第2章 热蒸发法生长ZnO、Li:ZnO和Al:ZnO纳米棒 | 第35-63页 |
·ZnO纳米线制备 | 第36-46页 |
·实验仪器 | 第36页 |
·衬底准备 | 第36页 |
·具体实验步骤 | 第36-37页 |
·ZnO纳米棒样品的表征 | 第37页 |
·结果和讨论 | 第37-46页 |
·ZnO∶Li纳米线 | 第46-52页 |
·实验仪器 | 第46-47页 |
·衬底准备 | 第47页 |
·具体实验步骤 | 第47-48页 |
·结果和讨论 | 第48-52页 |
·ZnO∶Al纳米线 | 第52-57页 |
·实验仪器 | 第52-53页 |
·衬底准备 | 第53页 |
·具体实验步骤 | 第53页 |
·结果分析 | 第53-57页 |
·本章小结 | 第57-61页 |
参考文献 | 第61-63页 |
第3章 PLD生长ZnO和ZnO∶Ag薄膜 | 第63-82页 |
·ZnO/p-Si薄膜 | 第65-70页 |
·ZnO/p-Si薄膜生长条件的优化 | 第66-68页 |
·ZnO/p-Si的异质结的研究 | 第68-70页 |
·ZnO/SiC薄膜 | 第70-73页 |
·常规XRD结果 | 第70-71页 |
·同步辐射掠入射X射线衍射和反射研究 | 第71-73页 |
·ZnO∶Ag/n-Si(111)薄膜 | 第73-77页 |
·讨论 | 第77页 |
·本章小结 | 第77-80页 |
参考文献 | 第80-82页 |
第4章 宽带隙SiC半导体材料综述 | 第82-92页 |
·SiC的结构和多型性 | 第84-85页 |
·SiC材料的制备 | 第85-89页 |
·薄膜生长 | 第85-88页 |
·晶体生长 | 第88-89页 |
·SiC器件研究 | 第89-91页 |
参考文献 | 第91-92页 |
第5章 脉冲激光淀积(PLD)制备SiC薄膜 | 第92-101页 |
·薄膜制备的工艺流程 | 第92-93页 |
·薄膜制备的表征与分析 | 第93-95页 |
·本章小结 | 第95-100页 |
参考文献 | 第100-101页 |
致谢 | 第101-102页 |
博士期间发表论文目录 | 第102页 |